买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉西安热工研究院有限公司申请的专利一种低红外发射率TiCuN/Cu/TiCuN耐腐蚀薄膜及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116716576B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310680878.3，技术领域涉及：C23C14/02；该发明授权一种低红外发射率TiCuN/Cu/TiCuN耐腐蚀薄膜及制备方法是由崔雄华;崔锦文;张磊;王弘喆;杨哲一设计研发完成，并于2023-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低红外发射率TiCuN/Cu/TiCuN耐腐蚀薄膜及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种低红外发射率TiCuNCuTiCuN耐腐蚀薄膜及制备方法，该制备方法包括：对基体打磨，抛光处理；将基体清洗；将基体进行烘干处理；将基体置于磁控溅射仪的中央样品台上，在靶基座上装上Ti和Cu靶，关闭溅射室，进行真空抽取；分别打开Ti和Cu靶直流电源，对Ti和Cu靶材进行预溅射，除去Ti和Cu靶材表面附着的杂质；第一次镀制TiCuN薄膜；镀制Cu薄膜；第二次镀制TiCuN薄膜；关闭Ti和Cu靶直流电源，打开真空阀门，取出薄膜样品。本发明制备的低红外发射率TiCuNCuTiCuN耐腐蚀薄膜，薄膜表面致密无空隙，薄膜层与层之间结合良好无间隙。

本发明授权一种低红外发射率TiCuN/Cu/TiCuN耐腐蚀薄膜及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种低红外发射率TiCuNCuTiCuN耐腐蚀薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1，先对基体利用砂纸进行机械打磨，再进行抛光处理，直至表面无明显的划痕，呈镜面； 步骤2，将经步骤1得到的基体浸入乙醇溶液进行超声波激励，再浸入去离子水进行超声波清洗； 步骤3，将经步骤2得到的基体表面擦拭干净后进行烘干处理； 步骤4，将经步骤3得到的基体置于磁控溅射仪的中央样品台上，在靶基座上装上Ti和Cu靶，关闭溅射室，确认各环节无误后，进行真空抽取； 步骤5，当步骤4中的真空达到背景真空7.0×10-4Pa后，打开氩气阀门，通入氩气，然后分别打开Ti和Cu靶直流电源，对Ti和Cu靶材进行预溅射，除去Ti和Cu靶材表面附着的杂质； 步骤6，当步骤5中的预溅射结束后，设置TiCuN薄膜溅射参数，打开氮气阀门，打开Ti和Cu靶直流电源，进行反应磁控共溅射，镀制TiCuN薄膜； 步骤7，当步骤6中的溅射结束后，关闭氮气和氩气阀门，进行真空抽取，把溅射室中的氮气和氩气抽完后，设置Cu薄膜溅射参数，打开氩气阀门，打开Cu靶直流电源，镀制Cu薄膜； 步骤8，当步骤7中的溅射结束后，设置与步骤6中TiCuN薄膜相同溅射参数，打开氮气阀门，打开Ti和Cu靶直流电源，进行反应磁控共溅射，镀制TiCuN薄膜； 步骤9，当步骤8中的溅射结束后，关闭Ti和Cu靶直流电源，打开真空阀门，取出薄膜样品。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安热工研究院有限公司，其通讯地址为：710048 陕西省西安市碑林区兴庆路136号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。