江苏微导纳米科技股份有限公司龚炳建获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种化学物质输送系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116855917B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310782006.8，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权一种化学物质输送系统及方法是由龚炳建;许所昌;宋道甫设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学物质输送系统及方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，且通过第二载气支路与液体化学物质箱连接；液体化学物质箱通过液体化学物质输送管路，与汽化器连接；汽化器中的快速隔膜阀的进气口与第一载气支路连接；快速隔膜阀的气液出口与汽化器的腔体连接；快速隔膜阀的进液口与液体化学物质输送管路连接；汽化器通过工艺气体沉积管路，与工艺气体沉积的反应腔体连接；快速隔膜阀用于在向反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对反应腔体进行吹扫时关闭。通过快速隔膜阀可将响应时间缩短，实现快速将大量化学物质输入反应腔体，满足微观结构复杂的工艺气体沉积的需求。
本发明授权一种化学物质输送系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种化学物质输送系统，其特征在于，包括： 载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接； 所述载气进气口通过第二载气支路与液体化学物质箱连接； 所述液体化学物质箱通过液体化学物质输送管路，与所述汽化器连接； 位于所述汽化器中的快速隔膜阀； 所述快速隔膜阀的进气口与所述第一载气支路连接；所述快速隔膜阀的气液出口与所述汽化器的腔体连接；所述快速隔膜阀的进液口与所述液体化学物质输送管路连接； 所述汽化器通过工艺气体沉积管路，与工艺气体沉积的反应腔体连接； 所述快速隔膜阀用于在向所述反应腔体输送化学蒸汽时开启，在对所述反应腔体进行吹扫时关闭； 所述快速隔膜阀包括弧形薄膜片，用于控制所述进液口的开闭；所述进液口的出液端与水平面齐平； 所述快速隔膜阀包括连接所述进气口和所述气液出口的下沉圆环槽型结构； 所述载气进气口通过总管路与所述第一载气支路连接； 所述总管路上设置有载气控制阀门；所述第一载气支路上设置有第一阀门和第一气体质量流量控制器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214112 江苏省无锡市新吴区新硕路9-6-2；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励