南方科技大学余望超获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利镀膜机样品台控制方法、装置及磁控溅射镀膜机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116904947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310774927.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权镀膜机样品台控制方法、装置及磁控溅射镀膜机是由余望超;宋学锋设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜机样品台控制方法、装置及磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本发明提供了镀膜机样品台控制方法、装置及磁控溅射镀膜机，涉及镀膜机技术领域，镀膜机样品台控制方法包括：确定当前镀膜样品；获取所述当前镀膜样品的镀靶材顺序和相应的镀膜时间；基于所述镀靶材顺序和相应的镀膜时间确定镀膜转动流程；控制样品台按照所述镀膜转动流程进行转动，完成所述当前镀膜样品的镀膜。本发明可实现样品镀膜时样品台的全自动启停控制。
本发明授权镀膜机样品台控制方法、装置及磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种镀膜机样品台控制方法，其特征在于，包括以下步骤： 确定当前镀膜样品； 获取所述当前镀膜样品的镀靶材顺序和相应的镀膜时间； 基于所述镀靶材顺序和相应的镀膜时间确定镀膜转动流程； 控制样品台按照所述镀膜转动流程进行转动，完成所述当前镀膜样品的镀膜； 所述基于所述镀靶材顺序和相应的镀膜时间确定镀膜转动流程包括以下步骤： 获取所述镀靶材顺序对应的镀膜转动角度序列； 根据所述镀膜转动角度序列和相应的镀膜时间生成所述镀膜转动流程； 所述确定当前镀膜样品之后，所述控制样品台按照所述镀膜转动流程进行转动，完成所述当前镀膜样品的镀膜之前，还包括以下步骤： 控制所述样品台保持或者转动至所述当前镀膜样品正对预设靶材的位置； 所述控制所述样品台保持或者转动至所述当前镀膜样品正对预设靶材的位置包括： 获取所述当前镀膜样品正对的靶材位置； 根据所述当前镀膜样品正对的靶材位置，与所述预设靶材之间的差值，确定所述当前镀膜样品的差值角度； 当所述差值角度为零时，控制所述样品台停止不动； 当所述差值角度不为零时，控制所述样品台转动至所述当前镀膜样品正对预设靶材的位置。
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