江苏鲁汶仪器股份有限公司桑康获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种晶圆载台装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116960048B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210415919.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆载台装置是由桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆载台装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，包括支撑板；旋转台组件，包括支撑台和压接部，压接部用于将晶圆压紧于支撑台；第一磁流体轴，包括转动密封的第一内轴和第一外轴，第一外轴密封装配于支撑板，第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部，第二端部与旋转台组件相连；升降组件，升降组件包括主体部分和升降体，主体部分位于壳体组件内，升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封，且升降体能够与压接部相作用；遮挡组件，包括挡板，挡板被配置为可转动地装配于支撑板，以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
本发明授权一种晶圆载台装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载台装置，其特征在于，包括： 与大气环境相连通的壳体组件1，包括支撑板11； 旋转台组件2，包括支撑台21和压接部221，所述压接部221用于将所述晶圆压紧于所述支撑台21； 第一磁流体轴3，包括转动密封的第一内轴31和第一外轴32，所述第一外轴32密封装配于所述支撑板11，所述第一内轴31具有伸入所述壳体组件1内的第一端部和伸出所述壳体组件1外的第二端部，所述第二端部与所述旋转台组件2相连； 升降组件5，所述升降组件5包括主体部分51和升降体52，所述主体部分51位于所述壳体组件1内，所述升降体52与所述支撑板11或者所述第一外轴32滑动密封，且所述升降体52能够与所述压接部221相作用； 遮挡组件6，包括挡板61，所述挡板61被配置为可转动地装配于所述支撑板11，以在转动至与所述旋转台组件2相对的第一工位和与所述旋转台组件2相错开的第二工位之间进行切换。
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