山东大学刘铎获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117026201B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311025022.9，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法是由刘铎;韩素芹;李浩然;闫彪;杜运超设计研发完成，并于2023-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法，包括步骤如下：将液体金属镓加入乙醇中，进行超声处理，之后静置取上清液，得到液态金属镓纳米颗粒悬浮液；将所得液态金属镓纳米颗粒悬浮液旋涂于衬底上，干燥后，在衬底上沉积Ga缓冲层；采用微波等离子体化学气相沉积MPCVD工艺，在Ga缓冲层上进行金刚石膜的生长，得到低应力金刚石膜。本发明首先在衬底上制备了Ga缓冲层，之后进行金刚石膜的生长，本发明的方法可以有效降低金刚石膜的残余应力，防止金刚石膜由于热应力导致的翘曲、断裂等问题，为缓冲层材料的制备探索出了一种新的方法。
本发明授权一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用超声空化技术合成金属Ga缓冲层制备低应力金刚石膜的方法，包括步骤如下： 1将液体金属镓加入乙醇中，进行超声处理，之后静置取上清液，得到液态金属镓纳米颗粒悬浮液；将所得液态金属镓纳米颗粒悬浮液旋涂于衬底上，干燥后，在衬底上沉积Ga缓冲层；所述液体金属镓的质量与乙醇的体积之比为1g:40-60mL；所述超声处理的时间为20-30min；超声功率为80W；所述衬底为硅衬底；所述旋涂的工艺条件为：使用匀胶机以100-500rpm的转速旋涂5-10s，之后以1200rpm的转速旋涂10-30s； 2采用微波等离子体化学气相沉积工艺，在Ga缓冲层上进行金刚石膜的生长，得到低应力金刚石膜。
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