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龙图腾网获悉青岛融合智能科技有限公司申请的专利光伏玻璃镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117070911B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311041641.7，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权光伏玻璃镀膜设备是由张家震;付传瑞;刘相均;杨胜;张晓辉;张豪;卞恒卿;金虎范;高树军;王健设计研发完成，并于2023-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本光伏玻璃镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光伏玻璃镀膜设备，属于光伏玻璃镀膜技术领域。其技术方案为：包括依次设置的上料区、过渡区一、成底膜区、CIGS层镀膜区、碱金属氟化物蒸发区、CdS层镀膜区、ZnO层镀膜区、AZO层镀膜区、过渡区二和下料区。本发明光伏玻璃镀膜设备通过使用磁控溅射的工艺制备铜铟镓硒薄膜，制备过程连续性和稳定性更高。

本发明授权光伏玻璃镀膜设备在权利要求书中公布了：1.光伏玻璃镀膜设备，其特征在于， 包括依次设置的上料区1、过渡区一2、成底膜区5、CIGS层镀膜区6、碱金属氟化物蒸发区7、CdS层镀膜区8、ZnO层镀膜区9、AZO层镀膜区10、过渡区二11和下料区12，每个区之间由门阀13相隔且每个区分别包括至少一个真空腔室14，真空腔室14连接有真空系统15；真空腔室14内设置有玻璃传送机构16，玻璃17在玻璃传送机构16上向前传送，玻璃传送机构16一侧倾斜设置有背板18，玻璃17倾斜地靠在背板18上且背板18朝向玻璃17的一面上设置有若干个滚轮19； 成底膜区5、CdS层镀膜区8、ZnO层镀膜区9及AZO层镀膜区10的真空腔室14内均设置有阴极，阴极上设置有靶管20，靶管20端部连接有射频电源，靶管20上设置有靶材； CIGS层镀膜区6内依次设置有真空腔室一601、真空腔室二602和真空腔室三603，真空腔室一601、真空腔室二602和真空腔室三603内设置有阴极，阴极上设置有靶管20，靶管20端部连接有可编程直流电源，靶管20上设置有靶材且真空腔室一601的靶材由Cu、In、Ga和Se组成，真空腔室二602的靶材由Cu和Se组成，真空腔室三603的靶材由In、Ga和Se组成； 碱金属氟化物蒸发区7的真空腔室14内设置有碱金属蒸发机构，将碱金属蒸镀到玻璃17表面； 所述过渡区一2与成底膜区5之间设置有加热区3，加热区3包括真空腔室14，真空腔室14内设置有加热机构和玻璃传送机构16，玻璃传送机构16一侧倾斜设置有背板18，玻璃17倾斜地靠在背板18上且背板18朝向玻璃17的一面上设置有若干个滚轮19； 所述加热区3与成底膜区5之间设置有等离子清洗区4，等离子清洗区4包括真空腔室14，真空腔室14内设置有等离子体发生器401和玻璃传送机构16，玻璃传送机构16一侧倾斜设置有背板18，玻璃17倾斜地靠在背板18上且背板18朝向玻璃17的一面上设置有若干个滚轮19；等离子体发生器401的电离源上设置有锯齿形凸起402； 所述碱金属蒸发机构包括安装在真空腔室14内的转动辊701，转动辊701由电机驱动转动；转动辊701的表面上间隔设置有若干个安装杆702，安装杆702的长度方向沿转动辊701的轴向延伸且安装杆702分别通过电线与控制器连接；安装杆702上间隔设置有若干个坩埚703，坩埚703上设置有加热丝23，坩埚703内装有碱金属氟化物，坩埚703的开口朝外。

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