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合肥工业大学夏豪杰获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117218087B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311193546.9,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法是由夏豪杰;许非凡;陈心语;朱梓旭;丁垠冶;陈文浩设计研发完成,并于2023-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。

基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法,包括:S1:使用CMOS相机采集错位莫尔条纹;S2:构建与条纹图等尺寸的自卷积Hanning窗函数;S3:采用Hanning自卷积窗对条纹进行加权计算;S4:采用快速傅里叶变换FFT获得条纹的包裹相位;S5:使用最小二乘解包裹算法得到条纹图的连续相位;S6:根据连续相位得到相位差;S7:根据相位差计算错位值。本发明旨在抑制莫尔条纹的频谱泄露,有效地降低频谱泄露的影响,从而能提取到高精度的相位,用于实现高精度的光刻对准。

本发明授权基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法在权利要求书中公布了:1.一种基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:利用CMOS相机获取单张正弦条纹图像Ix,y,其中,x,y分别为正弦条纹图像的行、列方向上的像素坐标; S2:利用式1构建正弦条纹图像Ix,y的二维Hanning自卷积窗wpx,y: wpx,y=wpx·wpy1 式1中,p为自卷积阶数,wpx表示行方向的一维Hanning自卷积窗,wpy表示列方向的一维Hanning自卷积窗,·表示点乘运算; S3:利用式2对正弦条纹图像Ix,y进行加权,得到加窗后的条纹图 S4:利用式3对加窗后的条纹图进行处理,得到只包含目标相位信息的加窗条纹的空间分布 式3中,H+1表示提取正一级频谱的带通滤波器,和分别表示正、逆二维快速傅里叶变换算子,然后利用式4得到包裹相位 式4中,Im[]和Re[]分别表示条纹图的虚部和实部; S5:利用加权最小二乘相位解包裹算法对包裹相位进行处理,得到条纹图的连续相位

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥工业大学,其通讯地址为:230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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