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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种复合电化学加工装置及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117283063B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210683542.8，技术领域涉及：B23H3/00；该发明授权一种复合电化学加工装置及加工方法是由刘江文;欧阳里赓;张永辉;邹治湘;张浩;林浩然;赖经云设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种复合电化学加工装置及加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及掩模微细电化学加工领域，公开了复合电化学加工装置及加工方法；复合电化学加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及电化学单元，掩模单元贴合在工件表面。同步等离子体亲水化装置对掩模以及掩模图案所显露的工件待加工区域进行实时亲水化处理，使复合电化学加工过程和亲水化效应同步进行，从而加工区域具备优异的工作液传质及更新能力；实时的亲水化处理效应，使得电化学加工过程中的工作液在加工区域内始终具有优异的更新和传质能力。保证电化学加工过程的稳定性和连续性，利于突破现有掩模电化学加工在微加工尺度上的制造瓶颈，实现高深径比等微结构的制备，提升掩模电化学加工的性能。

本发明授权一种复合电化学加工装置及加工方法在权利要求书中公布了：1.一种复合电化学加工装置，其特征在于：包括掩模单元、同步亲水化单元及电化学单元，掩模贴合在工件上，掩模单元设有显露工件加工区域的掩模图案，复合电化学单元用于将电化学溶液输送至掩模图案所显露的工件加工区域；同步亲水化单元对掩模单元及加工区域进行实时的亲水化处理，促进电化学溶液在加工区域的更新及传质； 同步亲水化单元包括等离子处理机、第一电极、第二电极、喷枪件、气体源、第一电极、第二电极均位于喷枪件内；等离子处理机的负极、正极分别连接第一电极、第二电极，气体源与喷枪件连通；气体源用于向喷枪件输送气体，等离子处理机作用于两个电极，使得喷枪件内的气体电离形成等离子体，喷枪件喷出的等离子体作用在掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域，实现对其表面进行亲水化处理，使得掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域在电化学加工过程中均能实现实时亲水化； 电化学单元包括电化学加工容器、夹具、蓄液容器、泵体件、过滤器及喷头件，电化学加工容器用放置夹具和贮存电化学溶液，夹具用于工件定位，喷头件套设在喷枪件的外侧喷头件设有出液孔；电化学加工容器与蓄液容器连通，泵体件与蓄液容器连通，蓄液容器内的电化学溶液经由泵体件吸取以及过滤器过滤之后输送至喷枪件与喷头件之间，并且电化学溶液跟随喷枪件喷出的等离子体同步经由出液孔以复合作用至工件加工区域； 所述喷头件具有主枪体、分别与主枪体连通的多个喷嘴头。

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