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华为技术有限公司李水明获国家专利权

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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利芯片及其制备方法、射频功率放大器和终端获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118215989B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280076593.2,技术领域涉及:H10D30/01;该发明授权芯片及其制备方法、射频功率放大器和终端是由李水明;李海军;张志利;刘涛;饶进设计研发完成,并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

芯片及其制备方法、射频功率放大器和终端在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种芯片及其制备方法、射频功率放大器和终端,涉及半导体技术领域,可以确保外延层与源极导电层充分接触。该芯片包括第一晶体管和第二晶体管,该方法包括:在衬底10上形成依次层叠设置的外延层11和源极导电层21;外延层包括第一通孔,以形成第一晶体管的第一外延层101和第二晶体管的第二外延层102。源极导电层包括第一晶体管的第一源极211和第二晶体管的第二源极212。第一源极211的边沿与第一外延层101贴近第一通孔侧的边沿齐平,第二源极212的边沿与第二外延层102贴近第一通孔侧的边沿。在第一通孔中形成第一导电层13;第一导电层13与第一源极211和第二源极212接触;形成第二通孔;在第二通孔中形成第二导电层14,第二导电层14与第一导电层13接触、并接地。

本发明授权芯片及其制备方法、射频功率放大器和终端在权利要求书中公布了:1.一种芯片的制备方法,其特征在于,所述芯片包括第一晶体管和第二晶体管,所述芯片的制备方法包括: 在衬底上形成依次层叠设置的外延层和源极导电层;所述外延层包括第一通孔,以形成所述第一晶体管的第一外延层和所述第二晶体管的第二外延层;所述源极导电层包括所述第一晶体管的第一源极和所述第二晶体管的第二源极,所述第一源极设置于所述第一外延层背离衬底一侧,所述第二源极设置于所述第二外延层背离衬底一侧;所述第一源极的边沿与所述第一外延层贴近所述第一通孔侧的边沿齐平,所述第二源极的边沿与所述第二外延层贴近所述第一通孔侧的边沿齐平; 形成第一导电层;所述第一导电层至少填充于所述第一通孔中,并分别与所述第一源极和所述第二源极接触; 在所述衬底中形成第二通孔;所述第二通孔与所述第一通孔至少部分重合; 形成第二导电层;所述第二导电层位于所述第二通孔中,所述第二导电层与所述第一导电层接触、并接地。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华为技术有限公司,其通讯地址为:518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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