北京北方华创微电子装备有限公司冯颜召获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118581431B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310201660.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法是由冯颜召;郭冰亮;武树波;杨健;赵晨光;宋玲彦;马迎功;周麟设计研发完成，并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法，调平工装用于对磁控溅射设备的磁性组件进行水平调节，包括：手持部，所述手持部设置有从顶面贯穿至底面的第一连接孔；支撑部，与所述手持部的外壁连接，并且环绕所述手持部设置，用于在调平时支撑在所述磁控溅射设备的上电极腔的侧壁上，所述支撑部包括用于避让所述上磁性组件的调平件和紧固螺钉的镂空区；升降轴，相对于所述手持部可升降地设置于所述第一连接孔内；至少一个测量板，与所述升降轴的底端连接，并且由所述升降轴向远离所述升降轴的方向水平延伸。本申请的调平工装可以使调平操作简单快速，可以提高生产效率。
本发明授权一种调平工装及磁控溅射设备的磁性组件的调平方法在权利要求书中公布了：1.一种调平工装，用于对磁控溅射设备的磁性组件进行水平调节，其特征在于，包括： 手持部，所述手持部设置有从顶面贯穿至底面的第一连接孔； 支撑部，与所述手持部的外壁连接，并且环绕所述手持部设置，用于在调平时支撑在所述磁控溅射设备的上电极腔的侧壁上，所述支撑部包括用于避让所述磁性组件的调平件和紧固螺钉的镂空区； 升降轴，相对于所述手持部可升降地设置于所述第一连接孔中； 至少一个测量板，与所述升降轴的底端连接，并且由所述升降轴向远离所述升降轴的方向水平延伸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励