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龙图腾网获悉辽宁工业大学;中国电子科技集团公司第五十四研究所;北京邮电大学申请的专利一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118763422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410964811.7，技术领域涉及：H01Q15/00；该发明授权一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元是由关维国;何小龙;张乃柏;黄建明;崔岩松;王子莱;杨光耀;邓琨设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元在说明书摘要公布了：本发明公开了一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元，属于射频前端器件技术领域。其由微带天线单元，复合梁MEMS开关，直流偏置线，金属短截线，圆形通孔，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底和背附金属地组成。复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组成而成。通过在直流端口输入不同直流电压来控制开关的断开与导通状态；利用MEMS开关控制电流路径的智能超表面调制天线具有隔离度高、插入损耗低和功耗低的特征。该天线可以实现在一定带宽范围内295‑305GHZ具有180°发射相位差，且MEMS开关工作在300GHZ以下，均可以保证在断开状态隔离度高于15dB；导通状态下插入损耗低于1dB。微带天线单元和开关结构简单、制造方便，可以通过硅基工艺进行制造。

本发明授权一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元在权利要求书中公布了：1.一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元，包括微带天线单元1、复合梁MEMS开关9、石英玻璃衬底17和背附金属地18；其特征在于， 微带天线单元1和复合梁MEMS开关9均设于石英玻璃衬底的上表面；背附金属地18位于石英玻璃衬底的下表面； 所述微带天线单元的矩形贴片和尾部圆形通孔4通过金属短截线19连接，尾部圆形通孔贯穿衬底并与背负金属地连接，金属短截线上设有作为断路的缺口；所述复合梁MEMS开关9的导通结构12位于缺口的正上方；导通结构12为矩形金属片，金属片下方分布有两个圆形接触点； 石英玻璃衬底上贯穿的设有4个金属通孔，四个金属通孔直线阵列且均位于复合梁MEMS开关9的下方；两端的金属通孔为一组，分别与复合梁MEMS开关9的对应桥墩连接；中间的两金属通孔为另一组，分别与对应的金属电极连接； 两组金属通孔的其中一组与背负金属地无接触，并通过直流偏置线与驱动电压端口连接； 所述复合梁MEMS开关9包括层叠设置的上梁10和金属下梁11；上梁中间位置下表面设有所述导通结构12；两个金属电极13和14分别位于金属下梁的左侧动作臂53和右侧动作臂的下方；金属下梁11的左侧动作臂53和右侧动作臂与两个金属电极13和14通过直流偏置线2和3直接与外加激励相连。

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