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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种断偶风险检测方法、半导体工艺设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118969650B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311826202.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种断偶风险检测方法、半导体工艺设备及存储介质是由王艾;张乾;高仁杰设计研发完成，并于2023-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种断偶风险检测方法、半导体工艺设备及存储介质在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供了一种断偶风险检测方法，该断偶风险检测方法在第一温度基于第一热电偶的测量温度值换算的等效于工艺对象温度的温度值为目标温度时，获取第二温度基于第二热电偶的测量温度值换算的等效于工艺对象温度的温度值和或测量温度对，并在第一温度与第二温度的差值大于或等于第一预设阈值时和或测量温度对大于或等于第二预设阈值时，确定第一热电偶存在断偶风险，其中，第一预设阈值表征第一热电偶在发生断偶现象之前的预定时间时，在第一温度为目标温度的状态下，第一温度与第二温度的差值；第二预设阈值用于表征该状态下，测量温度对的差值。通过上述方式，可以实现准确判断第一热电偶是否存在断偶风险的目的。

本发明授权一种断偶风险检测方法、半导体工艺设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种断偶风险检测方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括工艺腔室、第一热电偶和第二热电偶，所述工艺腔室用于对工艺对象进行热处理，所述第一热电偶位于所述工艺腔室的内部，所述第二热电偶位于所述工艺腔室的外部；所述断偶风险检测方法包括： 在第一温度为目标温度时，获取第二温度以及测量温度对中的至少一者，所述第一温度包括基于所述第一热电偶的测量温度值换算的等效于工艺对象温度的温度值；所述第二温度包括基于所述第二热电偶的测量温度值换算的等效于工艺对象温度的温度值；所述测量温度对包括第三温度和第四温度，所述第三温度包括所述第一热电偶的测量温度值，所述第四温度包括所述第二热电偶的测量温度值； 在所述第一温度与所述第二温度的差值大于或等于第一预设阈值时，和或，所述测量温度对的差值大于或等于第二预设阈值时，确定所述第一热电偶存在断偶风险，所述第一预设阈值用于表征所述第一热电偶在发生断偶现象之前的预定时间时，在所述第一温度为所述目标温度的状态下，所述第一温度与所述第二温度的差值，所述第二预设阈值用于表征所述第一热电偶在发生断偶现象之前的预定时间时，在所述第一温度为所述目标温度的状态下，所述测量温度对的差值。

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