买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺腔室和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119061384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310627592.9，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权半导体工艺腔室和半导体工艺设备是由陈路路;赵海洋设计研发完成，并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺腔室和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种半导体工艺腔室和半导体工艺设备，所公开的半导体工艺腔室包括基座、用于支撑基座的支撑轴、环绕基座设置，且与基座在水平方向间隔设置的预热环；半导体工艺腔室还包括位置检测装置；位置检测装置包括多个检测组件，每一检测组件均包括第一导电件，与第一导电件对应的第二导电件以及检测电路；多个检测组件中的第二导电件沿支撑轴的周向均匀固定于支撑轴的轴壁上；每一第一导电件的第一端与预热环固定连接，第一导电件的第二端靠近对应的第二导电件的第一端、且与第二导电件的第一端间隔设置；每一第一导电件的第二端与对应的第二导电件的第一端之间的距离均为预设距离，预设距离小于预热环与基座在水平方向上的间隔距离。

本发明授权半导体工艺腔室和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺腔室，包括：基座100，用于支撑所述基座100的支撑轴400，环绕所述基座100设置、且与所述基座100在水平方向间隔设置的预热环200；其特征在于，所述半导体工艺腔室还包括位置检测装置； 所述位置检测装置包括多个检测组件，每一所述检测组件均包括第一导电件310，与所述第一导电件310对应的第二导电件320以及检测电路330； 所述多个检测组件中的所述第二导电件320沿所述支撑轴400的周向均匀固定于所述支撑轴400的轴壁上； 每一所述第一导电件310的第一端与所述预热环200固定连接，所述第一导电件310的第二端靠近对应的所述第二导电件320的第一端、且与所述第二导电件320的第一端间隔设置； 每一所述第一导电件310的第二端与对应的所述第二导电件320的第一端之间的距离均为预设距离，所述预设距离小于所述预热环200与所述基座100在水平方向上的间隔距离； 所述检测电路330分别与所述第一导电件310的第一端以及所述第二导电件320的第二端电连接，所述检测电路330用于在当所述第一导电件310的第二端与对应的所述第二导电件320的第一端接触时被触发。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。