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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置及测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119124032B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411235591.0，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置及测试方法是由马骏;白逸涵;魏聪;陈梦沅;周泽;王念枫设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置及测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置及测试方法。装置包括短相干光源模块和斐索干涉测量模块。光源模块中短相干光源经偏振分光棱镜分为p光和s光，并由液晶可变延迟器对线偏振光进行相位调制。调制后的偏振光经光纤耦合器耦合进入干涉模块，在干涉腔内发生干涉，最后由CCD相机获取干涉图进行解算。本发明解决了传统干涉仪装置光源与干涉系统一体化出现的装调复杂问题，避免了传统相移中存在的由于机械部件移动造成的环境不稳定的情况，同时利用短相干光源的特性抑制了寄生条纹的影响。本装置利用液晶可变延迟器的特性实现相位调制以实现移相干涉和面形检测。所述移相干涉面形测量装置，能够得到高精度的面形测量结果。

本发明授权一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置及测试方法在权利要求书中公布了：1.一种基于液晶延迟器的移相干涉测量装置，其特征在于：包括短相干光源模块和斐索干涉测量模块，其中短相干光源模块包括短相干激光器1、第一光纤准直器2、起偏器3、半波片4、偏振分光棱镜5、第一四分之一波片6、第一角锥棱镜7、第二四分之一波片8、反射镜9、第二角锥棱镜10、精密电动位移台11、液晶可变延迟器12、光纤耦合器13、保偏光纤14；斐索干涉测量模块包括第二光纤准直器15、分光棱镜16、反射镜21、准直透镜22、标准参考平晶23、反射平晶24、孔径光阑17、成像透镜18、检偏器19和CCD相机20； 沿短相干光源模块光轴方向依次设置短相干激光器1、第一光纤准直器2、起偏器3、半波片4、偏振分光棱镜5、第一四分之一波片6、第一角锥棱镜7；沿偏振分光棱镜5反射方向依次设置第二四分之一波片8、反射镜9、第二角锥棱镜10，第二角锥棱镜10设置在精密电动位移台11上；短相干光源模块中短相干激光器1的出射光通过第一光纤准直器2转化为空间准直光，依次经过经起偏器3和半波片4形成线偏振光并进入偏振分光棱镜5，经偏振分光棱镜5分光后形成沿光轴方向的第一透射光和垂直光轴方向的第一反射光；其中，第一透射光经第一四分之一波片6进入第一角锥棱镜7后折返，再次经过第一四分之一波片6后从偏振分光棱镜5出射形成第二反射光；第一反射光经第二四分之一波片8、反射镜9进入第二角锥棱镜10后折返，再次经过第二四分之一波片8后从偏振分光棱镜5出射形成第二透射光，第二反射光和第二透射光均为线偏振光，上述出射的两支线偏振光汇合后从偏振分光棱镜5出射，进入液晶可变延迟器12进行调制，得到调制后的两支正交线偏振光，两支正交线偏振光进入光纤耦合器13耦合进入保偏光纤14并连接斐索干涉测量模块； 保偏光纤14的出射光经斐索干涉测量模块的第二光纤准直器15准直后由分光棱镜16分光，分解的第三透射光经反射镜21反射后扩束至准直透镜22，准直透镜22出射的准直光经标准参考平晶23后至反射平晶24，携带反射平晶24前表面的面形信息以及标准参考平晶23后表面的面形信息的光束经标准参考平晶23、准直透镜22、反射镜21、分光棱镜16、孔径光阑17、成像透镜18、检偏器19后，到达CCD相机20的靶面上并成像。

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