美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司尚海获国家专利权
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龙图腾网获悉美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司申请的专利一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119126483B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411172026.4,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法是由尚海;陈健;蒋开;万文兵设计研发完成,并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法,通过预紫外固化及点胶工艺的应用,大大减少了透镜出现空洞和气泡的概率。同时,可以增加透镜边界的约束,保证透镜压印过程中不会大范围溢出。在排版设计时,可以适当减少溢胶的预留空间,提高基板利用率和晶圆出片系数。
本发明授权一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法在权利要求书中公布了:1.一种消除在压印过程中产生的气泡及空洞的工艺方法,其特征是,所述工艺方法的步骤为: S1、晶圆表面处理:将晶圆放入等离子清洗设备中进行表面预处理,改变晶圆的表面张力,减小接触角; S2、模具局部点胶:根据设计的透镜体积及压印胶水的密度计算单粒透镜的点胶质量,并在模具的有效区进行点胶; S3、预紫外固化处理:将点胶完成的模具放入紫外固化箱中,进行短时间的弱紫外照射,激活胶水中的光敏剂,诱导开始交联反应,增强胶体分子间的相互作用力; S4、压印:根据产品设计,将预紫外固化处理后的模具、压印胶水与进行表面预处理后的晶圆放入压印设备进行压印; S5、紫外固化:根据压印胶水的固化特性,使用紫外光照射胶体一定时长,使其固化为设计结构; S6、脱模:将固化后的压印胶水与模具进行分离,模具和晶圆分离后,压印胶水形成设计结构固定在晶圆上,完成整个工艺方法。
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