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龙图腾网获悉美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司申请的专利结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119126484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411315243.4，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法是由高剑桥;彭思伟;张勇庆;李涛设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法，所述方法步骤包括：S1、基板表面预处理，S2、灰度光刻胶板制作，S3、灰度光刻，S4、曝光后烘烤，S5、显影，S6、透镜形貌测量，S7、初步逐层递进式热烘烤修正，S8、灰度光刻曝光剂量分布调整。本发明方法采用灰度光刻制作光学透镜，具有更高的可控性和制作高精度的、复杂的3D微纳结构的能力，对于非球面甚至自由曲面透镜加工也相对于传统工艺也更加具有优势，对于一些特殊结构的加工也会更容易。同时可以通过后续烘烤的工艺进行修正透镜的形貌曲率、高度，以加工出具有最佳精密光学效果的透镜；此方法制作的透镜模板一致性更高，形貌更好，制作时长较短。

本发明授权结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法在权利要求书中公布了：1.一种结合烘烤工艺修正透镜曲率的灰度光刻制作透镜的方法，其特征是，所述方法步骤为： S1、基板表面预处理：将基板的上下表面分别做抛光处理，使基板的表面保持良好的平整度，并将基板进行清洗，使基板的表面保持洁净； S2、灰度光刻胶板制作：将光刻胶通过旋涂或喷涂的方式，在基板上增加一层光刻胶层，旋涂完成后进行热固化或软烘烤，得到光刻胶板； S3、灰度光刻：将设计要求的图案导入至灰度光刻设备中，并将胶板放置在设备平台，调整至合适的曝光剂量和曝光时间，开始在相应的曝光区域内对光刻胶板进行灰度光刻； S4、曝光后烘烤：将灰度光刻后的光刻胶板放置在热板上进行烘烤； S5、显影：将显影液浸润烘烤后的光刻胶板表面上，当光刻胶与显影液反应完成后使用去离子水进行旋涂冲洗，并使用离子风枪进行风干或旋涂的方式甩干表面残留水渍，光刻胶板上出现透镜结构； S6、透镜形貌测量：光刻胶板上的透镜进行形貌曲率、高度参数的测量，得到灰度光刻胶板上透镜的形貌曲率、高度参数测试的结果； S7、初步逐层递进式热烘烤修正：根据测试结果，设置初步的逐层递进式的烘烤参数，将带有透镜的光刻胶板循环放置在热板和冷板上，每进行一轮热烘烤的修正后，需对透镜进行形貌测量，依据测量结果对设置的逐层递进式烘烤参数进行微调，直至完成热烘烤修正，得到是透镜的形貌曲率、高度参数达到初步修正要求； S8、灰度光刻曝光剂量分布调整：根据初步透镜制作的结果得到不同位置与设计值之间的差值，依据此差值对灰度光刻曝光剂量的分布情况进行相应的补偿后，重复进行以上步骤S1-S6，得到一个带有精确修正透镜形貌后的光刻胶板，再对此光刻胶板进行逐层递进式热烘烤修正，最终得到透镜的形貌曲率、高度参数符合最终要求的光学透镜。

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