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龙图腾网获悉东北大学申请的专利一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119144935B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310706359.X，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法是由刘坤;滕帅;鲁现航;付云鹤设计研发完成，并于2023-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法，使柔性基膜经过真空卷绕镀膜设备的多个工作区，分别在正、反面上进行真空镀膜过程，制备导电膜层；真空镀膜过程包括通过磁控溅射镀膜在柔性基膜上制备致密的种子膜层，以及通过蒸发镀膜在柔性基膜上的种子膜层上制备增厚膜层，从而在柔性基膜上形成导电膜层。磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊内均通有冷却介质，在磁控溅射镀膜和蒸发镀膜时对柔性基膜进行冷却。通过施加偏压使柔性基膜在绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊时与磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的表面紧密贴合，以获得更好的冷却效果。在柔性基膜绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的下游侧区域分别设置有辅助电场，辅助电场对柔性基膜起辅助脱辊作用。

本发明授权一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种制备复合集流体导电膜层的卷绕镀膜方法，其特征在于，通过卷绕系统使柔性基膜走膜经过真空卷绕镀膜设备的多个工作区，分别在柔性基膜的正、反面上进行真空镀膜过程，制备导电膜层；真空镀膜过程包括： 1在磁控溅射工作区，柔性基膜依次绕经磁控前辅助辊、磁控镀膜辊和磁控后辅助辊；在绕经磁控镀膜辊时，通过磁控溅射镀膜在柔性基膜上制备致密的种子膜层； 2在蒸发镀膜工作区，柔性基膜依次绕经蒸镀前辅助辊、蒸发镀膜辊和蒸镀后辅助辊；在绕经蒸发镀膜辊时，通过蒸发镀膜在柔性基膜上的种子膜层上制备增厚膜层，从而在柔性基膜上形成导电膜层； 磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊内均通有冷却介质，在磁控溅射镀膜和蒸发镀膜时对柔性基膜进行冷却； 磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊均带有偏压，磁控后辅助辊、蒸镀前辅助辊和蒸镀后辅助辊中的至少1个辅助辊也带有偏压，成为偏压辅助辊，该偏压使柔性基膜在绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊时与磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的表面紧密贴合，以获得更好的冷却效果； 在柔性基膜绕经磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的下游侧区域分别设置有辅助电场；在柔性基膜行至该下游侧区域需要脱离磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊时，辅助电场起辅助脱辊作用； 辅助电场为强度渐变电场，电场强度的渐变趋势为沿柔性基膜走膜方向逐渐增强； 在磁控镀膜辊和蒸发镀膜辊的下游设置有贴合传感器，贴合传感器对柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊之间的贴合程度进行监测；真空卷绕镀膜设备设置有控制模块；贴合传感器将反映贴合程度的传感信号传递给控制模块，控制模块根据传感信号对辅助电场的电场强度大小及分布进行在线反馈调控； 当传感信号增大时，说明柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊之间贴合更加紧密，冷却效果越好；当传感信号减小时，说明柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊之间的贴合程度降低，冷却效果也随之减弱；控制模块根据判断柔性基膜在磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊上的冷却效果对辅助电场进行在线反馈调控，通过辅助电场的电场强度和分布的调整实现对柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊形成分离的位置进行在线调整；当控制模块判断柔性基膜冷却不足时，控制模块向辅助电场发生装置发出调控指令，降低电场强度，改变电场分布，使柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊形成分离的位置比原分离位置在适当范围内进行延后，增强柔性基膜的冷却效果；当控制模块判断柔性基膜冷却过量时，控制模块向辅助电场发生装置发出调控指令，提高电场强度，改变电场分布，使柔性基膜与磁控镀膜辊或蒸发镀膜辊形成分离的位置比原分离位置在适当范围内进行提前，减弱柔性基膜的冷却效果。

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