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龙图腾网获悉华东交通大学申请的专利一种二维全息光栅曝光装置及工业生产方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119148477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411238120.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种二维全息光栅曝光装置及工业生产方法是由臧贺姣设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二维全息光栅曝光装置及工业生产方法在说明书摘要公布了：一种二维全息光栅曝光装置及工业生产方法，该装置由前端的分光准直光路和后端的曝光模组组成。前端的分光准直光路中，激光器121发出的光经功率调制器111调制，通过电子快门131后，被分光单元14分为第一子光束151、第二子光束152和第三子光束153，这三路光经过转折，偏振调制，扩束和准直后到达第一、二、三光阑，通过光阑限制其光斑尺寸及形状。经过光阑的三束光被引入后端曝光模组，第一、三路光经过第一、二耦合棱镜，衬底材料，基底材料后，与同样经过衬底材料和基底材料的第二路光在全息材料处相交，三束光干涉后形成二维光栅。该装置可同时进行两个维度的光栅曝光，简化了二维光栅曝光流程，提升了二维光栅制作效率。

本发明授权一种二维全息光栅曝光装置及工业生产方法在权利要求书中公布了：1.一种二维全息光栅曝光装置，其特征在于，所述装置包括前端分光准直光路和后端曝光模组； 所述前端分光准直光路包括光源及其功率调制器、电子快门和分光单元；所述分光单元用于将主光束分为第一子光束、第二子光束、第三子光束；第一子光束、第二子光束、第三子光束分别沿第一光路、第二光路、第三光路传播； 所述分光单元为具有三个反射面的组合器，每一个反射面均需镀膜来控制反射率，使得分束器分出的三束子光束能量相等或近似相等； 所述后端曝光模组包括第一耦合棱镜、第二耦合棱镜、衬底材料、基底材料、全息材料和吸光元件；所述第一耦合棱镜用于耦入第一子光束；第二耦合棱镜用于耦入第三子光束；衬底材料位于耦合棱镜上方，基底材料位于衬底材料上方，全息材料位于基底材料上方，以及吸光元件位于全息材料上方；第一子光束、第三子光束透过耦合棱镜、衬底材料、基底材料后，与透过衬底材料和基底材料的第二子光束在全息材料处相交，共同干涉形成二维光栅；从而实现一次性曝光制作二维光栅； 所述第一子光束和第二子光束干涉形成第一方向的干涉图样，第二子光束和第三子光束干涉形成第二方向的干涉图样，两个方向的干涉图样叠加后共同形成二维干涉图样；第二子光束作为复用光束，所述装置只用三束光就实现了二维干涉图样； 所述后端曝光模组使用了棱镜和衬底材料堆叠的方法，其中使用棱镜是因为将全息光栅应用于波导显示时，为使其中一束光满足全反射传输条件，必须使用棱镜耦合，二维光栅则需使用两个棱镜对第一子光束和第三子光束均进行耦合；而使用衬底材料则是为了使从棱镜耦出的光沿原有方向继续传播一段距离，从而使三束光在基底上的全息材料待曝光区域处重合，避免了基底与棱镜互相干扰。

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