香港科技大学(广州)吴朝阳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种用于电子束曝光设备的自动调节系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119356041B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411903216.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于电子束曝光设备的自动调节系统是由吴朝阳;曾祥军;李艺杰;李季;徐巍设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电子束曝光设备的自动调节系统在说明书摘要公布了：本申请提供的一种用于电子束曝光设备的自动调节系统，上位机在工作时，可以调用外置相机对物镜放大所得的实像进行成像，并对成像后的光镜画面进行分析后，根据分析结果驱动调节组件或操作机器人对光镜载物台上的样品架、样品架上的样品台，以及光学显微镜进行调节，并控制操作机器人对电子束曝光设备的XYZ轴进行归零操作，以对样品台上的样品进行调节。该过程无需人工操作，即可通过上位机实现自动化校准、调节操作，从而有效节省了设备操作时间，并提高操作准确度，进而能够精确地控制电子束在不同位置上曝光，并且，本申请使用外置相机替代了电子束曝光设备中原有的相机，进而有效提高画面传输效率和自动调节效率。
本发明授权一种用于电子束曝光设备的自动调节系统在权利要求书中公布了：1.一种用于电子束曝光设备的自动调节系统，其特征在于，所述系统包括上位机、外置相机、光镜台、设置在所述光镜台上的调节组件，以及设置在所述光镜台一侧的操作机器人； 所述电子束曝光设备的光学显微镜及光镜载物台设置在所述光镜台上，所述光镜载物台用于装载固定有样品的样品架，所述调节组件和所述操作机器人设置在所述光学显微镜的周围，所述外置相机的镜头与所述光学显微镜的物镜对接，所述上位机的输入输出端分别与所述外置相机、所述调节组件以及所述操作机器人连接； 所述上位机工作时，调用所述外置相机对所述物镜放大所得的实像进行成像，并对成像后的光镜画面进行分析后，根据分析结果驱动所述调节组件或所述操作机器人对所述光镜载物台上的样品架、所述样品架上的样品台，以及所述光学显微镜进行调节，并控制所述操作机器人对所述电子束曝光设备的XYZ轴进行归零操作，以对所述样品台上的样品进行调节。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人香港科技大学(广州)，其通讯地址为：511453 广东省广州市南沙区笃学路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励