中微半导体设备(上海)股份有限公司杨宽获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119381235B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310920875.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法是由杨宽;朱波龙;徐蕾;丛海设计研发完成，并于2023-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法，属于等离子体处理设备技术领域，为了解决气体分配器中管路放电造成的设备损伤，具体包括：气体喷淋头；与所述气体喷淋头电连接的射频源；远程等离子体源，其等离子体出口通过一输气管道与所述气体喷淋头的出气口连通，以及移动塞，通过移动塞在输气管道中移动来切换不同的工艺处理状态，以实现在等离子体处理过程中，既满足不同工艺对等离子体种类的要求，又避免气体在输气管道中被激发成等离子体后损伤设备。
本发明授权气体分配器、等离子体处理装置及气体切换操作方法在权利要求书中公布了：1.一种气体分配器，用于向反应腔中通入反应气体，其特征在于，包括： 气体喷淋头，其一侧具有多个与反应腔连通的出气口，另一侧与气源连接；远程等离子体源，其等离子体出口通过一输气管道与所述气体喷淋头的出气口连通，所述远程等离子体源输出的等离子体通过一路径进入所述气体喷淋头，以及， 移动塞，其上开设有多孔气路，使气体通过所述移动塞；其在阻隔态和疏通态之间移动，所述阻隔态为所述移动塞移动到所述输气管道中，使其位于所述路径中，所述疏通态为所述移动塞脱离所述输气管道，使移动塞远离所述路径，所述移动塞切换到阻隔态时，所述移动塞位于所述气源的出口与所述气体喷淋头之间。
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