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南京理工大学沈华获国家专利权

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龙图腾网获悉南京理工大学申请的专利基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119413101B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411576515.6,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法是由沈华;张开勇;矫岢蓉;贾文昕;谭路梅设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法,涉及光学检测领域。激光器发出的光经过准直扩束后入射至偏振分光镜;反射的光作为参考光束,透射的光作为测试光束;测试光束光入射至空间光调制器,经空间光调制器相位调制经过透镜后形成具有不同倾角的标准球面波,对不同区域划分的子孔径进行零位检测。使用空间光调制器作为理想点源阵列发生器与成像镜头配合能够针对不同的被测件参数生成所需的理想倾斜球面波,相对于传统的点源生成器而言具有很强的通用性。并且对于大口径的复杂曲面,无需移动干涉装置便能实现子孔径拼接,减少由于机械移动引入的误差。

本发明授权基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法在权利要求书中公布了:1.基于空间光调制器的倾斜波面子孔径拼接干涉检测方法,其特征在于,步骤如下: 步骤1、搭建测量光路: 所述测量光路包括激光器1、第一透镜2、第二透镜3、光阑4、起偏器5、偏振分光棱镜6、第一14波片7、反射镜8、空间光调制器9、第二14波片10、成像透镜11、待测面12、第三14波片13、第三透镜14、第四透镜15、偏振相机16、PC控制端17; 共第一光轴依次设置激光器1、第一透镜2、第二透镜3、光阑4、起偏器5、偏振分光棱镜6、空间光调制器9,经偏振分光棱镜6还存在与第一光轴垂直的第二光轴,沿第二光轴依次分布反射镜8、第一14波片7、偏振分光棱镜6、第三14波片13、第三透镜14、第四透镜15、偏振相机16,空间光调制器9的反射光路上依次设有第二14波片10、成像透镜11、待测面12;空间光调制器9和偏振相机16分别与PC控制端17连接; 激光器1出射的线偏振光经第一透镜2和第二透镜3,成为扩束平行光,再经过光阑4将光束孔径进行限制,成为光强均匀性高的平行光束;经过起偏器5分成偏振方向相互垂直的两束平行光,再经偏振分光棱镜6被分为测试光路和参考光路;测试光路在第一光轴上,经空间光调制器9反射后经过第二14波片10、成像透镜11抵达待测面12,记录待测面面型信息后沿成像透镜11、第二14波片10、空间光调制器9返回至偏振分光棱镜6;由于测试光束两次通过14波片偏振方向旋转90°再次到达偏振分光棱镜6时会被反射,将沿着第二光轴经第三14波片13、第三透镜14、第四透镜15抵达偏振相机16;参考光束在第二光轴上,经第一14波片7抵达反射镜8后被反射,再次经过第一14波片7抵达偏振分光棱镜6;由于参考光束两次通过14波片偏振方向旋转90°再次到达偏振分光棱镜6时会被透射,将沿着第二光轴经第三14波片13、第三透镜14、第四透镜15抵达偏振相机16;最终在偏振相机处拍得记录待测面面型信息得干涉条纹图; 步骤2、根据待测面12的镜头参数,对待测面12的检测区域进行划分,并根据所划分的检测区域参数确定干涉面型检测时空间光调制器9与成像透镜11生成动态点源阵列所需要的位置参数与理想球面波调制量; 步骤3、将待测面12替换为标准球面反射镜,使用迭代生成算法与波前迭代算法对空间光调制器9与成像透镜11生成动态点源阵列的位置参数与理想球面波调制量进行标定; 步骤4、将标准球面反射镜移出,放入待测面12,打开激光器1,利用步骤3中生成的空间光调制器9与成像透镜11的动态点源阵列对待测面12的面型进行干涉检测; 步骤5、偏振相机16分别采集每个点源对应待测面12的四幅子孔径干涉图; 步骤6、对上述子孔径干涉图进行四步移相,解得包裹相位; 步骤7、通过拼接算法拼接包裹相位,得到面型信息,将面型信息与待测面12的镜头参数进行对比,完成待测面面型误差的检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京理工大学,其通讯地址为:210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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