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深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利光学检测方法及系统、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119509378B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311010323.4,技术领域涉及:G01B11/06;该发明授权光学检测方法及系统、设备及存储介质是由陈鲁;顾玥;刘健鹏;张嵩设计研发完成,并于2023-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。

光学检测方法及系统、设备及存储介质在说明书摘要公布了:一种光学检测方法及系统、设备及存储介质,用于检测待测物表面的特征部和基准部之间的测量高度差,方法包括:获取待测物的检测图像;获取检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域,第一感兴趣区域包括特征部的图像信息,第二感兴趣区域包括基准部的图像信息;根据第一感兴趣区域获得特征部的第一检测信息,根据第二感兴趣区域获得基准部的第二检测信息;根据第一检测信息和第二检测信息获得特征部和基准部之间的测量高度差。本发明有利于获得较为精准的检测信息,同时节约算力,提高检测效率,实现高稳定性高精度的光学检测。

本发明授权光学检测方法及系统、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种光学检测方法,其特征在于,用于检测待测物表面的特征部和基准部之间的测量高度差,所述检测方法包括: 通过入射光在所述待测物表面形成入射光斑,并经过所述待测物表面反射形成信号光,通过探测器采集所述信号光获取所述入射光斑相对应的检测图像; 获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域,所述第一感兴趣区域包括所述特征部的图像信息,所述第二感兴趣区域包括所述基准部的图像信息; 根据所述第一感兴趣区域获得所述特征部的第一检测信息,根据所述第二感兴趣区域获得所述基准部的第二检测信息; 根据所述第一检测信息和所述第二检测信息获得所述特征部和所述基准部之间的测量高度差; 所述获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域,包括: 获取所述检测图像的光参数值分布,包括:沿第一方向对所述检测图像的图像信息进行一维投影,得到第一投影数据,所述第一投影数据表示第二方向上各个像素点的位置与投影值之间的对应关系,所述投影值为所述光参数值的最大值,所述第一方向为所述探测器靶面的行方向,所述第二方向为所述探测器靶面的列方向;所述光参数值分布为所述检测图像中各个像素点的位置与光参数值的对应关系,其中,所述光参数值包括灰度值; 根据所述检测图像,确定沿所述第二方向的第一区域和第二区域,其中,所述第一区域包括所述特征部的图像信息,所述第二区域包括所述基准部的图像信息;获取所述第一投影数据对应的峰值位置,包括对应所述第一区域的第一峰值位置、以及对应所述第二区域的第二峰值位置;根据所述第一峰值位置获取所述第一感兴趣区域,所述第一感兴趣区域沿所述第二方向的边界位于所述第一峰值位置的两侧;根据所述第二峰值位置获取所述第二感兴趣区域,所述第二感兴趣区域沿所述第二方向的边界位于所述第二峰值位置的两侧; 或者,所述获取所述检测图像的第一感兴趣区域和第二感兴趣区域,包括: 获取所述检测图像的光参数值分布,还包括:将多个所述检测图像对应的第一投影数据沿所述第一方向拼接,获得数据矩阵; 沿所述第一方向对所述数据矩阵进行一维投影,获得第二投影数据,所述第二投影数据表示所述第二方向上多个像素点的位置与投影值之间的对应关系,所述投影值为所述光参数值的最大值、最小值或均值;所述光参数值分布为所述检测图像中各个像素点的位置与光参数值的对应关系,其中,所述光参数值包括灰度值; 获取所述第二投影数据对应的峰值位置,包括对应所述第一区域的第一峰值位置、以及对应所述第二区域的第二峰值位置;根据所述第一峰值位置获取所述第一感兴趣区域,所述第一感兴趣区域沿所述第二方向的边界位于所述第一峰值位置的两侧;根据所述第二峰值位置获取所述第二感兴趣区域,所述第二感兴趣区域沿所述第二方向的边界位于所述第二峰值位置的两侧。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳中科飞测科技股份有限公司,其通讯地址为:518109 广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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