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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119571259B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411592075.3，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法是由杨宗银;马志;石雅琪;陈银鹏;杨涛;王育铭;宁郑立设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法；所述装置包括热蒸镀真空腔室、基片台、蒸发源、热蒸镀抽真空模块以及真空位移模块；利用热蒸镀设备和真空位移电机，实现了在高真空下一次合成带隙连续渐变的钙钛矿薄膜，使得蒸镀后的薄膜整体上从一端往另外一端，Br和Cl的比例不断变大，Br和I的比例不断变小，带隙从左到右将连续变窄。

本发明授权一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的方法，所述方法基于一种利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的装置进行合成；所述利用热蒸镀合成带隙连续渐变钙钛矿薄膜的装置包括热蒸镀真空腔室3、基片台1、蒸发源、热蒸镀抽真空模块9以及真空位移模块； 所述热蒸镀真空腔室3用于提供真空环境；所述基片台1设置在热蒸镀真空腔室3内部的顶部，基片台1用于固定基片；所述蒸发源设置在热蒸镀真空腔室3内的底部，所述蒸发源用于盛放前驱体材料；所述热蒸镀抽真空模块9用于对热蒸镀真空腔室3进行抽真空；所述真空位移模块设置在热蒸镀真空腔室3内，真空位移模块用于在热蒸镀过程中对蒸镀料沉积时进行遮挡； 所述真空位移模块包括遮挡掩膜板6、支撑杆7以及真空位移电机10；所述遮挡掩膜板6与支撑杆7的一端固定连接，支撑杆7的另一端固定在真空位移电机10上；在热蒸镀过程中，通过真空位移电机10的移动从而调整蒸镀料沉积的厚度； 其特征在于，所述方法包括以下步骤： 1将基片固定在基片台1上，将足量的PbBr2粉末、CsI粉末以及CsCl粉末分别放置在三个蒸发源内； 2通过热蒸镀抽真空模块9对热蒸镀真空腔室3进行抽真空； 3匀速旋转基片台1，同时通过热蒸镀将PbBr2均匀的沉积在基片上； 4待PbBr2沉积完成后停止基片台1旋转；通过热蒸镀将CsI或CsCl中的一种进行沉积，同时启动真空位移电机10带动遮挡掩膜板移动，从而实现沉积的CsCl或CsI是厚度不断渐变的； 5将真空位移电机10复位，并将基片台1旋转180°，通过热蒸镀将剩余一种前驱体材料进行沉积，同时启动真空位移电机10带动遮挡掩膜板移动，从而实现沉积的最后一种材料的厚度是不断渐变的； 6待CsCl以及CsI沉积完成后取出基片，对取出的基片进行高温退火得到的带隙连续渐变钙钛矿薄膜。

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