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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利光刻机位移测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119668037B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311215784.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机位移测量系统是由范玉娇;韩昱;杨月舳设计研发完成，并于2023-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机位移测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种光刻机位移测量系统，该位移测量系统包括掩模台六自由度位移测量子系统、光栅安装板六自由度位移测量子系统、工件台六自由度度位移测量子系统，分别用于测量掩模台相对主基板的空间位姿、第一光栅安装板相对于投影物镜对准传感器的空间位姿，以及工件台相对第一光栅安装板的空间位姿。本发明一方面采用统一的电子计数模块，硬件板卡内使用统一的时钟参考信号，能够有效缓解系统之间的时间延迟问题，解决了不能同步测量部件之间的相对位移的难题，另一方面采用统一的光源信号和探测器，能够降低因光源波长扰动等因素带来的系统误差，提高同位移测量子系统内部件之间以及跨位移测量子系统部件之间的相对位移测量精度。

本发明授权光刻机位移测量系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机位移测量系统，其特征在于，包括： 掩模台六自由度位移测量子系统，用于获得掩模台相对主基板的六自由度位移； 光栅安装板六自由度位移测量子系统，用于获得预处理位光栅安装板相对于对准传感器，曝光位光栅安装板相对于投影物镜的六自由度位移； 工件台六自由度位移测量子系统，用于获得工件台相对第一光栅安装板的六自由度位移，所述第一光栅安装板包括预处理位光栅安装板、曝光位光栅安装板； 激光器101，用于同时给各位移测量子系统提供输入光，并向电子计数模块发送参考信号； 光纤分束器102，用于将激光器输入各位移测量子系统的单路输入光分成多路输入光； 光纤103，用于传递各位移测量子系统的输入光和回光信号，且各位移测量子系统的光纤长度相同； 电子计数模块104，将所述参考信号转换为电子计数模块的参考时钟信号，并基于统一的参考时钟信号处理各位移测量子系统的回光信号，从而同步获得各子系统的六自由度位移。

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