买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海新毅东半导体科技有限公司申请的专利掩膜版传送装置及光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411993691.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权掩膜版传送装置及光刻机是由张琪;符友银;芦志明设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本掩膜版传送装置及光刻机在说明书摘要公布了：本发明属于掩膜版生产制造技术领域，公开了一种掩膜版传送装置及光刻机。该掩膜版传送装置包括支撑架、支撑臂、竖向驱动机构和抓取机构，支撑架上安装有第一驱动件；第一驱动件的输出端与支撑臂传动连接，第一驱动件被配置为能驱动支撑臂旋转；两个竖向驱动机构对称设置于支撑臂的两端；抓取机构包括支撑板、两个夹爪组件和驱动组件，竖向驱动机构的输出端与支撑板传动连接，竖向驱动机构被配置为能驱动支撑板升降，驱动组件被配置为能驱动两个夹爪组件相互靠近或远离。上述掩膜版传送装置，有效提高了转运效率。

本发明授权掩膜版传送装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版传送装置，其特征在于，包括： 支撑架100，所述支撑架100上安装有第一驱动件300； 支撑臂400，所述第一驱动件300的输出端与所述支撑臂400传动连接，所述第一驱动件300被配置为能驱动所述支撑臂400旋转； 竖向驱动机构500，两个所述竖向驱动机构500对称设置于所述支撑臂400的两端； 抓取机构600，设置有两个，两个所述抓取机构600与两个所述竖向驱动机构500一一对应设置，所述抓取机构600包括支撑板610、两个夹爪组件和安装于所述支撑板610的驱动组件630，所述竖向驱动机构500的输出端与所述支撑板610传动连接，所述竖向驱动机构500被配置为能驱动所述支撑板610升降，两个所述夹爪组件对称设置于所述支撑板610，且所述夹爪组件与所述支撑板610滑动连接，所述驱动组件630被配置为能驱动两个所述夹爪组件相互靠近或远离； 所述第一驱动件300能够驱动所述支撑臂400旋转90度，使两个所述抓取机构600分别对准预对准位和掩膜台承接位，以及驱动所述支撑臂400旋转180度，能够实现所述预对准位和所述掩膜台承接位的掩膜版交换。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海新毅东半导体科技有限公司，其通讯地址为：201708 上海市青浦区华新镇北青公路3888号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。