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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119828429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510233029.2，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法是由夏豪杰;许非凡;方青林;朱梓旭;贺洁设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法在说明书摘要公布了：本发明涉及中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法。该基于中心对称光栅组件的倾斜角测量方法获取第一光栅与第二光栅所形成的至少一个象限内的莫尔条纹，获取该莫尔条纹在象限的两对角线方向的频率分量，通过频率分量计算得到条纹与原始的光栅方向的夹角，通过夹角计算第一光栅与第二光栅之间的倾斜角。在该方案中通过对光栅倾斜后得到的莫尔条纹的频率或者其所等效的相位变化的分解处理可以提取到其正交分量，并基于该正交分量得到相应的莫尔条纹的夹角，进一步可以通过莫尔条纹的倾斜角得到最终的两光栅之间的倾斜角。从而可根据所得的倾斜角对光刻时的掩模与晶圆之间的角度进行校正。

本发明授权中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法在权利要求书中公布了：1.一种中心对称光栅组件的倾斜角测量方法，基于中心对称光栅组件，其特征在于， 所述中心对称光栅组件包括第一光栅11以及第二光栅12，第一光栅11与第二光栅12的光栅平面垂直于照明光路，第一光栅11与第二光栅12沿照明光路依次布置； 第一光栅11与第二光栅12围绕光栅中心O由两正交轴区隔为依次周向分布的第一、二、三、四四个象限；在每一个子象限内形成L形光栅13，L形光栅13具有各自平行于两正交轴的第一栅段111以及第二栅段112；其中第一栅段111以及第二栅段112于一端连接形成一折角113，折角113沿该象限对角线向外延伸； L形光栅13的光栅周期在不同的象限中以第一周期P1、第二周期P2交替重复，且P1≠P2，第二光栅12中对应象限的L形光栅13的光栅周期与第一光栅11中对应象限内的L形光栅13的光栅周期互补； 所述倾斜角测量方法获取第一光栅11与第二光栅12所形成的至少一个象限内的莫尔条纹，获取该莫尔条纹在象限的两对角线方向的频率分量，通过频率分量计算得到条纹与原始的光栅方向的夹角θ1，通过夹角θ1计算第一光栅11与第二光栅12之间的倾斜角εz1。

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