江苏鲁汶仪器股份有限公司陈帅获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种具有光学访问通道的喷气结构及喷气系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119833381B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311324318.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种具有光学访问通道的喷气结构及喷气系统是由陈帅;刘海洋;刘小波;李浩;李百顺;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2023-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有光学访问通道的喷气结构及喷气系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有光学访问通道的喷气结构及喷气系统，包括进气连接件和气体喷嘴，所述进气连接件与气体喷嘴相互连接；所述气体喷嘴设有光学访问通道、中间进气气路和边缘进气气路，所述光学访问通道位于所述气体喷嘴的中心位置且竖直向下延伸，所述中间进气气路包括中间匀气结构和连通所述中间匀气结构的中间进气孔，所述边缘进气气路包括边缘匀气孔和连通边缘匀气孔的边缘进气孔；所述进气连接件与所述气体喷嘴之间设有将光学访问通道、中间进气气路和边缘进气气路相互独立密封的密封件。该进气结构可单独控制两路进气中的任意一路进气，从而有效的控制进气的均匀性、实现进气比例的调节、降低电弧放电的风险、减少气体沉积与颗粒的产生。
本发明授权一种具有光学访问通道的喷气结构及喷气系统在权利要求书中公布了：1.一种具有光学访问通道的喷气结构，其特征在于，包括进气连接件10和气体喷嘴20，所述进气连接件10与气体喷嘴20相互连接；所述气体喷嘴20设有光学访问通道21、中间进气气路和边缘进气气路，所述光学访问通道位于所述气体喷嘴20的中心位置并沿竖直方向向下延伸，所述中间进气气路包括中间匀气结构和连通所述中间匀气结构的中间进气孔24，所述边缘进气气路包括边缘匀气孔25和连通所述边缘匀气孔的边缘进气孔26；所述进气连接件10与所述气体喷嘴20之间设有将所述光学访问通道21、中间进气气路和边缘进气气路相互独立密封的密封件；所述进气连接件10设有光学器件安装部11、中间匀气槽13和边缘匀气槽15，所述中间匀气槽13对应于所述中间匀气结构，所述边缘匀气槽15对应于所述边缘匀气孔25，所述中间匀气槽13和边缘匀气槽15分别设有独立的进气口。
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