北京大学许福军获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利一种AlGaN基深紫外发光二极管注入结构及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119836066B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311312427.0,技术领域涉及:H10H20/825;该发明授权一种AlGaN基深紫外发光二极管注入结构及应用是由许福军;郎婧;沈波;王嘉铭;康香宁;唐宁;秦志新设计研发完成,并于2023-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种AlGaN基深紫外发光二极管注入结构及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种AlGaN基深紫外发光二极管注入结构及应用。本发明提供的注入结构为周期性结构,每个周期结构包括如下组成:Al组分占比渐变的p‑AlmGa1‑mN层;每个周期结构中,Al组分占比m沿生长方向由x至y线性渐变,x取值范围为0.6‑0.85;y取值范围为0.3‑0.7;且xy。本发明提供的注入结构,可利用压电极化效应诱导产生的负极化体电荷调制p型区能带,降低空穴注入势垒,并抑制电子泄露。该方法将深紫外发光器件的p型区整合成统一的周期性结构,规避了电子阻挡层p‑EBL的使用,提高器件载流子注入效率的同时有效降低器件工作电压,对提升AlGaN基DUV‑LED电光转换效率并推动其产业应用具有重要意义。
本发明授权一种AlGaN基深紫外发光二极管注入结构及应用在权利要求书中公布了:1.一种AlGaN基深紫外发光二极管的注入结构的制备方法,其特征在于,所述注入结构为周期性结构,每个周期结构包括如下组成:Al组分占比渐变的p-AlmGa1-mN层; 每个周期结构中,Al组分占比m沿生长方向由x至y线性渐变,x取值范围为0.6-0.85;y取值范围为0.3-0.7;且xy; 所述每个周期结构的厚度为a,a取值范围为3-10nm; 所述注入结构的厚度为n·a;n表示周期数,n取值范围为2-20; 所述注入结构的制备方法包括如下步骤: S1:采用金属有机物化学气相沉积的方法,将Ga源、Al源的流量分别调整到初始值; S2:打开有机源气路进行外延生长,通过控制Ga源、Al源的流量的渐变梯度,在AlGaN基量子阱样品上生长得到Al组分占比线性渐变的p-AlGa1-mN膜层,即完成整合结构的第一个周期; S3:关闭有机源气路,将Ga源、Al源的流量调整到步骤S1中的初始值; S4:重复步骤S2-S3,得到周期性结构的Al组分线性渐变的p-AlGa1-mN整合结构; 其中: 步骤S1中,通过对所述Ga源、Al源的流量控制比例,以满足所述每个周期结构中x及y的要求; 步骤S2中,通过对所述Al源的流量的渐变比例的控制,以满足所述每个周期结构中Al组分占比的线性关系的要求; 步骤S2中,通过对所述生长时间的控制,以满足所述每个周期结构的厚度a的要求; 步骤S4中,通过对所述重复次数的控制,以满足所述每个周期结构的周期数n的要求。
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