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长春长光华大智造测序设备有限公司陈新东获国家专利权

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龙图腾网获悉长春长光华大智造测序设备有限公司申请的专利相位测量系统及超透镜检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119845546B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311337007.8,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权相位测量系统及超透镜检测方法是由陈新东;李威翰;苗亮;张鑫;考红旭;王智豪设计研发完成,并于2023-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

相位测量系统及超透镜检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种相位测量系统及超透镜检测方法,属于超透镜波前检测方法技术领域,其中,相位测量系统包括光源、分光镜、缩束器、分束镜、检测光学组件和图像采集装置,分束镜用于将经过缩束器的探测光线分为参考光束和检测光束,检测光学组件包括物镜及检测平台,检测平台用于支撑待检测光学元件或参考元件,图像采集装置用于根据第一检测光束与参考光束生成第一像差信号,以及根据第二检测光束与参考光束生成第二像差信号,通过第一像差信号与第二像差信号的差可以得到超透镜的波前像差,这样就可以有效解决检测过程中物镜像差的干扰问题,实现高精度的超透镜波像差的测量,能够对超透镜的成像质量进行性能评估。

本发明授权相位测量系统及超透镜检测方法在权利要求书中公布了:1.一种相位测量系统,其特征在于,包括: 光源,用于发出探测光线; 分光镜,用于透射所述探测光线,并能够反射与所述光源反向的光线; 缩束器,用于缩小经过所述分光镜透射的光束直径; 分束镜,用于将经过所述缩束器的探测光线分为参考光束和检测光束,所述参考光束经所述分束镜反射并沿所述探测光线相反方向传递至所述分光镜并由所述分光镜反射至图像采集装置,所述检测光束经所述分束镜透射; 检测光学组件,包括物镜及检测平台,所述检测平台用于支撑待检测光学元件或参考元件,所述物镜将所述检测光束聚焦至所述待检测光学元件或所述参考元件并接收所述待检测光学元件或所述参考元件反射回的所述检测光束; 以及所述图像采集装置,用于分别接收所述物镜传递至所述分束镜并经所述探测光线的传播路径传递的所述检测光束,所述检测光束包括与所述待检测光学元件对应的第一检测光束、以及与所述参考元件对应的第二检测光束,所述图像采集装置进一步用于根据所述第一检测光束与所述参考光束生成第一像差信号,以及根据所述第二检测光束与所述参考光束生成第二像差信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长春长光华大智造测序设备有限公司,其通讯地址为:130000 吉林省长春市长春经济技术开发区自由大路7691号光电信息产业园一期6号办公楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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