松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所徐文俊获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所申请的专利一种压电式MEMS加速度计及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119873737B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510246449.4，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种压电式MEMS加速度计及制备方法是由徐文俊;汪洋;丁国建;王晓晖;冯琦;于萍;王世卓荦;贾海强;陈弘设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电式MEMS加速度计及制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种压电式MEMS加速度计及制备方法，压电式MEMS加速度计的悬梁结构两端分别设置有第一压电敏感结构和第二压电敏感结构。当压电式MEMS加速度计受到正向加速度时，第一压电敏感结构发生正向形变，第一上电极和第一下电极分别产生感应电荷+Q1和‑Q1；第二压电敏感结构发生反向形变，第二上电极和第二下电极分别产生感应电荷‑Q2和+Q2；由于第一压电敏感结构的第一上电极连接第二压电敏感结构的第二下电极，第一压电敏感结构的第一下电极连接第二压电敏感结构的第二上电极，因此，第一压电敏感结构和第二压电敏感结构的整体感应电荷为+Q1+Q2和‑Q1+Q2，极大地增大了感应电荷，提高了灵敏度。
本发明授权一种压电式MEMS加速度计及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种压电式MEMS加速度计的制备方法，其特征在于，包括： 对基底正面的上电极、压电层和下电极进行图形化，得到第一压电敏感结构和第二压电敏感结构；其中，所述第一压电敏感结构包括第一上电极、第一压电层和第一下电极，所述第二压电敏感结构包括第二上电极、第二压电层和第二下电极； 在基底正面，形成金属连接线、第一PAD和第二PAD；其中，所述金属连接线用于连接所述第二上电极与第一下电极，以及连接所述第二下电极与第一上电极；所述第一PAD连接所述第一下电极，所述第二PAD连接所述第一上电极； 对基底正面和背面进行图形化，得到悬梁结构、振动敏感结构和框架结构；其中，所述第一压电敏感结构和第二压电敏感结构分别位于所述悬梁结构的两端。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人松山湖材料实验室;中国科学院物理研究所，其通讯地址为：523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励