柒贰零(北京)健康科技有限公司刁刻获国家专利权
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龙图腾网获悉柒贰零(北京)健康科技有限公司申请的专利一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120404877B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510534993.9,技术领域涉及:G01N27/327;该发明授权一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置及方法是由刁刻;孙阳;司晓磊;余华;谢子超;王淦玉;赵飞翔;张科强;陈健;詹瑞;刘家新设计研发完成,并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置及方法,该装置包括MEMS传感器主体、微型气泵组件及自清洁模块,MEMS传感器主体包括MEMS硅基底、纳米多孔富集层、电化学电极阵列;电化学电极阵列由工作电极、参比电极、对电极构成;MEMS硅基底集成有Pt温度传感器及加热电极;纳米多孔富集层表面修饰3‑氨基丙基三乙氧基硅烷,底部通过硅通孔与MEMS硅基底的加热电极连接,顶部通过硅通孔与电化学电极阵列的工作电极形成导电通路;纳米多孔富集层与微型气泵组件通过PDMS密封环实现气路密封。本发明通过纳米多孔MEMS结构预富集空气蛋白质,利用无酶电化学氧化反应实现定量检测,并集成电热双模式自清洁系统,解决了现有技术成本高、维护复杂的问题。
本发明授权一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于纳米多孔MEMS的电化学式空气蛋白质浓度检测装置,其特征在于,包括MEMS传感器主体、微型气泵组件、自清洁模块,所述MEMS传感器主体包括MEMS硅基底、纳米多孔富集层、电化学电极阵列;所述电化学电极阵列由工作电极、参比电极、对电极构成三电极系统; 所述MEMS硅基底由高纯度单晶硅制成,其表面通过干法刻蚀形成微流道网络;所述MEMS硅基底集成有Pt温度传感器及加热电极;所述加热电极采用Pt电阻加热器;所述自清洁模块与所述MEMS硅基底共用所述Pt电阻加热器; 所述纳米多孔富集层采用阳极氧化法在铝箔基底上制备多孔氧化铝层而成,其表面修饰3-氨基丙基三乙氧基硅烷;所述纳米多孔富集层底部通过硅通孔与所述MEMS硅基底的加热电极连接,顶部通过硅通孔与所述电化学电极阵列的工作电极形成导电通路;所述纳米多孔富集层与所述微型气泵组件通过PDMS密封环实现气路密封,以确保气流仅通过所述纳米多孔富集层的孔隙; 所述工作电极、参比电极、对电极通过光刻工艺形成阵列图案,并与所述MEMS硅基底的硅通孔垂直互连;所述工作电极、参比电极、对电极的信号输出端通过金丝键合至恒电位仪电路,实现电流-电压信号转换; 所述微型气泵组件包括微型气泵,所述微型气泵气流入口设初效滤网,出口与所述纳米多孔富集层的微流道直接对接,形成闭环气路。
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