上海稷以科技有限公司彭帆获国家专利权
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龙图腾网获悉上海稷以科技有限公司申请的专利射频电极腔体用内衬结构及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120473424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510562798.7，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权射频电极腔体用内衬结构及其使用方法是由彭帆;漆宏俊设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本射频电极腔体用内衬结构及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种射频电极腔体用内衬结构及其使用方法，内衬结构包括：若干个内衬本体，均置于射频电极腔体内，相邻内衬本体之间接触，最后一个内衬本体和第一个内衬本体之间形成进线缺口，每个内衬本体均与射频电极腔体的内顶面连接；若干层布线槽，用于安装线缆或者管路，其开设于内衬本体的内壁上并沿着内衬本体的高度方向分布；线缆与对应的布线槽卡设配合，其一端位于内衬结构外，另一端位于内衬结构围成的空腔中并朝着静电卡盘延伸；管路与对应的布线槽卡设配合，其一端位于内衬结构外，另一端位于内衬结构围成的空腔中并朝着静电卡盘延伸。本发明使得射频电极腔体内的绕线路径相同，从而降低了密集程度，并保持晶圆加工的均一性和良率。
本发明授权射频电极腔体用内衬结构及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种射频电极腔体用内衬结构，其特征在于，包括： 若干个内衬本体，均置于射频电极腔体内，相邻内衬本体之间接触，最后一个内衬本体和第一个内衬本体之间形成进线缺口，所有内衬本体围成内衬结构；每个内衬本体均与射频电极腔体的内顶面连接； 若干层布线槽，用于安装线缆或者管路，其开设于内衬本体的内壁上并沿着内衬本体的高度方向分布； 线缆与对应的布线槽卡设配合，其一端位于内衬结构外，另一端位于内衬结构围成的空腔中并朝着静电卡盘延伸；管路与对应的布线槽卡设配合，其一端位于内衬结构外，另一端位于内衬结构围成的空腔中并朝着静电卡盘延伸。
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