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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利探针台及监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120594897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510999199.1，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权探针台及监测方法是由吴贵阳设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针台及监测方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体测试设备领域，提出了一种探针台及监测方法，探针台包括基座、测试架、载片台模组、探针模组和图像采集模组，测试架包括一体成型的架体和安装台，架体与基座连接，测试架与基座合围出容置腔，安装台设有连通容置腔的通槽；载片台模组位于容置腔中，载片台模组包括连接于基座的第一驱动组件和连接于第一驱动组件的载片台，探针模组包括第二驱动组件和探针，第二驱动组件与安装台连接，探针与第二驱动组件连接；图像采集模组与安装台连接，图像采集模组包括采集部，采集部位于通槽的上方。监测方法包括校准、检验、计算和输出四个步骤，用于监测上述探针台的形变。本申请的探针台及监测方法能够使得测试结果更为可靠。

本发明授权探针台及监测方法在权利要求书中公布了：1.一种监测方法，其特征在于，包括探针台，所述探针台包括基座、测试架、载片台模组、探针模组、图像采集模组、应变结构和监测模组； 测试架包括一体成型的架体和安装台，所述安装台上设置有待监测区域，所述架体与所述基座连接，所述测试架与所述基座合围出沿Y轴方向贯通的容置腔，沿Z轴方向，所述安装台设有通槽，所述通槽连通所述容置腔； 载片台模组位于所述容置腔中，所述载片台模组包括第一驱动组件和载片台，所述第一驱动组件与所述基座连接，所述载片台连接于所述第一驱动组件的输出端，所述第一驱动组件用于驱动所述载片台沿X轴方向和或所述Y轴方向移动，所述X轴方向、所述Y轴方向和所述Z轴方向两两相互垂直； 探针模组，包括第二驱动组件和探针，所述第二驱动组件与所述安装台连接，所述探针连接于所述第二驱动组件的输出端，所述第二驱动组件用于驱动所述探针沿所述Z轴方向移动，以使所述探针能够由所述通槽进入或退出所述容置腔； 图像采集模组，与所述安装台连接，所述图像采集模组包括采集部，所述采集部位于所述通槽的上方； 所述监测模组包括基准支路和多个监测支路，所述应变结构连接于所述安装台朝向所述基座的一侧，且所述应变结构与所述监测模组电连接； 所述监测方法包括以下步骤： 校准：根据所述基准支路的基准电压，调节与所述基准支路并联的多个所述监测支路的初始电压，以使各所述初始电压均与所述基准电压相等； 检测：检测所述待监测区域形变后各所述监测支路的电压，获得应变电压； 计算：根据所述基准电压和所述应变电压，计算所述待监测区域内各处的应变状态； 输出：根据所述应变状态，输出表征所述应变状态的应变分布图和或应变分布矩阵。

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