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深圳市中达瑞和科技有限公司郑帆获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市中达瑞和科技有限公司申请的专利线性渐变滤波片的制作方法及线性渐变滤波片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120717704B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511191500.2,技术领域涉及:C03C17/34;该发明授权线性渐变滤波片的制作方法及线性渐变滤波片是由郑帆;张崇磊;刘湘宇;吕鹏;邓以实;李卓荣;梁洪易设计研发完成,并于2025-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。

线性渐变滤波片的制作方法及线性渐变滤波片在说明书摘要公布了:本发明适用于滤波片技术领域,尤其涉及一种线性渐变滤波片的制作方法及线性渐变滤波片。线性渐变滤波片的制作方法包括以下步骤:以玻璃晶圆作为基底,在玻璃晶圆的表面镀下反射层;其中,下反射层由多层低折射率材料和多层高折射率材料交替堆叠而成;通过阶梯型镀膜工艺在下反射层远离玻璃晶圆的一侧镀膜谐振腔层;在谐振腔层远离玻璃晶圆的一侧镀上反射层;在上反射层远离玻璃晶圆的一侧且大于中心波长的区域镀长波通层,得到线性渐变滤波片。与现有技术相比,本发明提出的线性渐变滤波片在长波段光谱分辨率更优,各通道的能量差距更小,具有优良的波长选择性能,可被用于微型化红外光谱仪等光谱应用。

本发明授权线性渐变滤波片的制作方法及线性渐变滤波片在权利要求书中公布了:1.一种线性渐变滤波片的制作方法,其特征在于,所述线性渐变滤波片的制作方法包括以下步骤: S1、以玻璃晶圆作为基底,在所述玻璃晶圆的表面镀下反射层;其中,所述下反射层由多层低折射率材料和多层高折射率材料交替堆叠而成,且所述下反射层包括多种不同膜厚系数的膜系; S2、通过阶梯型镀膜工艺在所述下反射层远离所述玻璃晶圆的一侧镀膜谐振腔层;其中,所述谐振腔层由多层所述低折射率材料堆叠而成; S3、在所述谐振腔层远离所述玻璃晶圆的一侧镀上反射层;其中,所述上反射层由多层高折射率材料和多层低折射率材料交替堆叠而成,且所述上反射层包括多种不同膜厚系数的膜系; S4、在所述上反射层远离所述玻璃晶圆的一侧镀长波通层,得到所述线性渐变滤波片;其中,所述长波通层由多层高折射率材料和多层低折射率材料交替堆叠而成,且镀所述长波通层的区域为大于所述线性渐变滤波片的中心波长的区域; 所述谐振腔层包括第一低折射层以及掩模层,步骤S2包括以下子步骤: S21、在所述下反射层远离所述玻璃晶圆的一侧镀膜所述低折射率材料,形成所述第一低折射层; S22、通过掩模区域不同的多种掩模版依次在所述第一低折射层远离所述玻璃晶圆的一侧镀不同膜厚的所述低折射率材料,形成所述掩模层; 所述下反射层包括膜厚系数为1.55的第一下反射膜系、膜厚系数为1.0的第二下反射膜系、膜厚系数为0.88的第三下反射膜系以及膜厚系数为0.8的第四下反射膜系; 所述下反射层的镀膜所满足的条件为:1.55LH^1~1.0LH^1~0.88LH^1~0.8LH^1;其中,L表示所述低折射率材料,H表示所述高折射率材料,LH表示由一层所述低折射率材料和一层所述高折射率材料组成的膜系,~表示连接膜系。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市中达瑞和科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市南山区西丽街道西丽社区打石一路深圳国际创新谷六栋A座3202;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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