武汉大学刘文娟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种三维定位压电MEMS麦克风及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120730232B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511140641.1，技术领域涉及：H04R19/02；该发明授权一种三维定位压电MEMS麦克风及其制备方法是由刘文娟;杨超翔;王雅馨;卢亮宇;孙成亮设计研发完成，并于2025-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三维定位压电MEMS麦克风及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种三维定位压电MEMS麦克风及其制备方法。包括：衬底，衬底具有背腔；背腔包括沿垂直于衬底的方向排布的第一背腔和第二背腔；第一背腔和第二背腔对应设置且第一背腔和第二背腔连通；压电振膜结构，与背腔对应设置；压电振膜结构包括框架、X方向高灵敏度感知悬臂梁组合和Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合；X方向高灵敏度感知悬臂梁组合包括一对或多对主悬臂梁，每对主悬臂梁均通过主支撑梁固定在框架上；每个主悬臂梁开设有悬臂梁凹槽，Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合设置在每个主悬臂梁的悬臂梁凹槽处，Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合包括一对或多对次悬臂梁，且每对次悬臂梁均通过次支撑梁固定在主悬臂梁上。
本发明授权一种三维定位压电MEMS麦克风及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种三维定位压电MEMS麦克风，其特征在于，所述三维定位压电MEMS麦克风包括： 衬底，所述衬底具有背腔；所述背腔包括沿垂直于衬底的方向排布的第一背腔和第二背腔；所述第一背腔和所述第二背腔对应设置且所述第一背腔和所述第二背腔连通； 压电振膜结构，与所述背腔对应设置； 其中，压电振膜结构包括： 框架、X方向高灵敏度感知悬臂梁组合和Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合； 所述X方向高灵敏度感知悬臂梁组合包括一对或多对主悬臂梁，每对主悬臂梁均通过主支撑梁固定在框架上；每个主悬臂梁上开设有悬臂梁凹槽，所述Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合设置在每个主悬臂梁的悬臂梁凹槽处，所述Y方向高灵敏度感知悬臂梁组合包括一对或多对次悬臂梁，且每对次悬臂梁均通过次支撑梁固定在主悬臂梁上。
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