胜科纳米(苏州)股份有限公司廖金枝获国家专利权
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龙图腾网获悉胜科纳米(苏州)股份有限公司申请的专利一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120741106B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511248062.9,技术领域涉及:G01N1/28;该发明授权一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法是由廖金枝;朱雷;李雯;张兮;华佑南;李晓旻设计研发完成,并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于DSIMS样品制备技术领域,提供了一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法,所述DSIMS样品制备方法包括:设定样品的非平整表面为正面,对非平整表面依次进行凹陷部分填充、沉积形成表面沉积层,然后对沉积后的样品进行背面减薄至靠近样品的目标测试位置,从背面减薄后的样品背面开始DSIMS检测。本发明采用一个简单、快速的方法,有效地解决了现有的表面非平整材料在DSIMS检测过程中,由于表面不平整而导致同一时间收集到的信号并不是来自同一个深度的问题。
本发明授权一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法在权利要求书中公布了:1.一种表面非平整材料的DSIMS样品制备方法,其特征在于,所述DSIMS样品制备方法包括如下步骤: 1设定样品的非平整表面为正面,对非平整表面的凹陷部分进行填充并填充完全; 2对填充后的样品正面进行沉积,形成表面沉积层; 3确定样品的目标测试位置;对沉积后的样品进行背面减薄至靠近所述目标测试位置; 4从背面减薄后的样品背面开始DSIMS检测。
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