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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种射频电压传感器及等离子体源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120801798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511260137.5，技术领域涉及：G01R19/04；该发明授权一种射频电压传感器及等离子体源系统是由李树瑜;杨国浩;孟子淇;田思雨;王一梅;田香设计研发完成，并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频电压传感器及等离子体源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频电压传感器及等离子体源系统。该射频电压传感器包括信号采集模块和信号处理电路；信号处理电路包括矩形波脉冲检测模块、信号转换模块、峰值保持模块和运算输出模块；所述矩形波脉冲检测模块的输入端接收脉冲同步信号；所述信号转换模块连接信号采集模块的输出端；所述峰值保持模块的第一输入端连接信号转换模块的输出端，所述峰值保持模块的第二输入端连接矩形波脉冲检测模块的输出端；所述运算输出模块连接峰值保持模块的输出端。本发明提供的射频电压传感器及等离子体源系统，既能准确检测单级脉冲对应的峰值电压，也能稳定检测多级脉冲对应的峰值电压，并在脉冲关闭期间避免输出跳变至零，提升了测量的稳定性和实用性。

本发明授权一种射频电压传感器及等离子体源系统在权利要求书中公布了：1.一种射频电压传感器，其特征在于，包括：信号采集模块和信号处理电路； 所述信号处理电路包括矩形波脉冲检测模块、信号转换模块、峰值保持模块和运算输出模块； 所述矩形波脉冲检测模块的输入端接收脉冲同步信号； 所述信号转换模块连接信号采集模块的输出端； 所述峰值保持模块的第一输入端连接信号转换模块的输出端，所述峰值保持模块的第二输入端连接所述矩形波脉冲检测模块的输出端； 所述运算输出模块连接所述峰值保持模块的输出端； 其中：所述信号采集模块用于采集待测电路中的脉冲功率信号；所述信号转换模块将所述脉冲功率信号转换为第一电压信号并输出至所述峰值保持模块的第一输入端；所述矩形波脉冲检测模块用于在所述脉冲同步信号为矩形波脉冲信号时，将所述矩形波脉冲信号输出至所述峰值保持模块的第二输入端，还用于在所述脉冲同步信号为持续高电平时，输出恒定高电平至所述峰值保持模块的第二输入端；其中，所述脉冲同步信号根据所述脉冲功率信号确定；所述峰值保持模块用于在其第二输入端为高电平时，输出当前输入的第一电压信号，所述峰值保持模块还用于在其第二输入端为低电平时，输出最近一次高电平对应的第一电压信号；所述运算输出模块对所述峰值保持模块输出的第一电压信号进行放大处理，生成第二电压信号并输出。

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