上海东煦电子科技有限公司任启刚获国家专利权
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龙图腾网获悉上海东煦电子科技有限公司申请的专利一种晶圆生产用激光开槽设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223531640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422607803.5，技术领域涉及：B23K26/364；该实用新型一种晶圆生产用激光开槽设备是由任启刚;叶俊设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆生产用激光开槽设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆生产用激光开槽设备，涉及晶圆开槽技术领域，改善晶圆开槽后不便于快速对晶圆进行上料和下料的问题，包括加工台，加工台内腔底部的中心处通过轴承转动连接有立柱，本实用新型通过设置转盘和晶圆定位槽，能够便于对需要开槽的晶圆进行限位固定，通过设置第一电动气缸和激光切割机，能够便于对晶圆进行开槽加工，通过设置驱动电机、主动齿轮和从动齿轮，能够带动立柱和转盘水平旋转，进而能够带动晶圆定位槽内加工完成的晶圆水平旋转，将开槽完成的晶圆从激光切割机下方移走，完成下料，同时还能将需要加工的晶圆移动到激光切割机的下方，完成上料，该方式能够快速对晶圆进行下料和上料，生产效率高。
本实用新型一种晶圆生产用激光开槽设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产用激光开槽设备，包括加工台1，其特征在于：所述加工台1内腔底部的中心处通过轴承转动连接有立柱2，所述立柱2的顶部固定安装有转盘3，所述转盘3的顶部呈环形均匀开设有晶圆定位槽4，所述立柱2的表面设置有驱动机构5，所述加工台1的背面固定安装有驱动箱6，所述驱动箱6的内腔设置有移动机构7，所述移动机构7的顶部固定安装有立板8，所述立板8背面的顶部固定安装有第一电动气缸9，所述第一电动气缸9的伸缩端固定安装有激光切割机10； 所述驱动机构5包括驱动电机501，所述驱动电机501固定安装于加工台1内腔底部的左侧，所述驱动电机501的输出端固定连接有主动齿轮502，所述立柱2的外表面固定安装有从动齿轮503，所述主动齿轮502的外表面与从动齿轮503的外表面啮合。
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