芯恩(青岛)集成电路有限公司田小勇获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223532196U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422556765.5，技术领域涉及：B24B37/11；该实用新型一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备是由田小勇设计研发完成，并于2024-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备，其中，所述晶圆研磨头包括：研磨头本体，其底部开设有安装槽；冷却件，设于所述安装槽内，所述冷却件内开设有冷却通道和吸附通道，所述冷却件通过所述吸附通道用于吸附晶圆，所述冷却通道用于降低晶圆的温度；加热件，设于所述安装槽内，所述加热件用于对所述晶圆加热。本实用新型提供的晶圆研磨头通过研磨头本体内设置冷却件和加热件，用于调节晶圆研磨时其表面的温度，避免晶圆表面温度过高或过低的情况发生，从而提高了对晶圆的研磨效率。
本实用新型一种晶圆研磨头及晶圆研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨头，其特征在于，包括： 研磨头本体，其底部开设有安装槽； 冷却件，设于所述安装槽内，所述冷却件内开设有冷却通道和吸附通道，所述冷却件通过所述吸附通道用于吸附晶圆，所述冷却通道用于降低晶圆的温度； 加热件，设于所述安装槽内，所述加热件用于对所述晶圆加热； 所述冷却件的顶部开设有冷却口，所述冷却口与所述冷却通道连通，以使所述冷却通道呈凹槽型结构； 当需要对所述晶圆降温时，冷却气体通过所述冷却口流动至所述冷却通道内用于降低所述晶圆的温度； 所述加热件包括卡环和加热丝； 所述卡环位于所述安装槽内并套设于所述冷却件，所述卡环上开设有卡槽； 所述加热丝设于所述卡槽内，用于对所述晶圆加热。
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