上海亚曼光电科技有限公司林伟旺获国家专利权
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龙图腾网获悉上海亚曼光电科技有限公司申请的专利一种防损伤硅片固定夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223532228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423154690.4,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种防损伤硅片固定夹具是由林伟旺设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防损伤硅片固定夹具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种防损伤硅片固定夹具,属于硅片技术领域,包括基座,所述基座上设置有固定结构;所述基座的外壁设置有辅助结构;所述固定结构包含有连通在基座底壁的连接头,所述连接头的内壁连通有连通管,所述基座的底部设置有真空泵,所述真空泵的吸取端与连通管远离连接头的一端相连通,所述基座的顶壁开设有出气口。通过设置固定、辅助结构,将硅片放置在基座的顶壁,拧动螺纹杆带动橡胶垫推动硅片至合适的位置后,再反向拧动螺纹杆复原,最后启动真空泵,真空泵通过基座开设的出气口将硅片固定在基座的顶壁,有效避免因夹持力度不当或形状不匹配的原因,进而有效避免硅片表面产生划痕或压痕。
本实用新型一种防损伤硅片固定夹具在权利要求书中公布了:1.一种防损伤硅片固定夹具,包括基座1,其特征在于,所述基座1上设置有固定结构2; 所述基座1的外壁设置有辅助结构3; 所述固定结构2包含有连通在基座1底壁的连接头203,所述连接头203的内壁连通有连通管202,所述基座1的底部设置有真空泵201,所述真空泵201的吸取端与连通管202远离连接头203的一端相连通,所述基座1的顶壁开设有出气口204,所述基座1开设的出气口204与连接头203的内壁相连通。
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