肇庆市汇昌真空设备有限公司莫少勇获国家专利权
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龙图腾网获悉肇庆市汇昌真空设备有限公司申请的专利一种阴极电弧靶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535187U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422955344.X，技术领域涉及：C23C14/32；该实用新型一种阴极电弧靶是由莫少勇;吴双;刘欢设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阴极电弧靶在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种阴极电弧靶，包括：法兰座，具有中空腔；靶组件，包括靶座和靶材，所述靶座与所述法兰座连接，且所述靶座位于所述中空腔内，所述靶材与所述靶座连接；磁铁组件，包括磁铁座、内磁铁和外磁铁，所述磁铁座与所述靶座远离所述靶材一侧连接，所述磁铁座具有外环形槽和内环形槽，所述外环形槽沿所述靶材的周向外侧延伸，所述内环形槽布置有内磁铁，所述外环形槽布置有外磁铁；电磁线圈，包括骨架和线圈绕组，所述线圈绕组缠绕在所述骨架，所述骨架与所述磁铁座远离所述靶座一侧连接。本实用新型能够调整靶材的磁场分布，提高磁场强度，从而，提高弧斑在靶材表面的移动速度，使产生的颗粒尺寸更小，镀膜后产品更光滑。
本实用新型一种阴极电弧靶在权利要求书中公布了：1.一种阴极电弧靶，其特征在于，包括： 法兰座100，具有中空腔110； 靶组件，包括靶座120和靶材130，所述靶座120与所述法兰座100连接，且所述靶座120位于所述中空腔110内，所述靶材130与所述靶座120连接； 磁铁组件，包括磁铁座140、内磁铁150和外磁铁160，所述磁铁座140与所述靶座120远离所述靶材130一侧连接，所述磁铁座140具有外环形槽和内环形槽，所述外环形槽沿所述靶材130的周向外侧延伸，所述内环形槽布置有内磁铁150，所述外环形槽布置有外磁铁160； 电磁线圈170，包括骨架180和线圈绕组190，所述线圈绕组190缠绕在所述骨架180，所述骨架180与所述磁铁座140远离所述靶座120一侧连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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