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苏州康普雷森精密机械有限公司李龙获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州康普雷森精密机械有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备的送料机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223535190U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422511852.9,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种磁控溅射镀膜设备的送料机构是由李龙设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

一种磁控溅射镀膜设备的送料机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备的送料机构,包括磁控溅射镀膜送料机构以及送料组件,送料组件包含有第一固定板以及第二固定板,所述第一固定板以及第二固定板的一侧内部开设有移动凹槽,所述移动凹槽的内部通过滑动连接有移动块,所述移动块的内部通过转动连接有活动轴,通过将送料基板上下夹持在上传送轮与下传送轮之间,可以有效进行稳定保持水平直线移动,避免送料基板移动输送过程中出现偏移,当送料基板将靶材镀膜输送在将送料基板进行前后输送磁控溅射镀膜机构真空腔室内时,通过驱动伸缩液压缸带动伸缩导柱进行上下移动,进一步带动移动支架进行移动,可以将上传送轮进行移动挤压在送料基板上端轨道槽内部,可以避免镀膜从常压环境送入低压的真空腔室,其气压差的突然变化导致对送料基板产生冲击,避免造成其位置发生偏移。

本实用新型一种磁控溅射镀膜设备的送料机构在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射镀膜设备的送料机构,包括磁控溅射镀膜送料机构100以及送料组件200,其特征在于:送料组件200包含有第一固定板201以及第二固定板202,所述第一固定板201以及第二固定板202的一侧内部开设有移动凹槽203,所述移动凹槽203的内部通过滑动连接有移动块216,所述移动块216的内部通过转动连接有活动轴215,所述活动轴215的一端安装有上传送轮223,所述移动块216的一端固定安装有移动支架217,所述移动支架217的上端通过螺栓将固定杆218连接固定,所述固定杆218的上端通过螺栓将连杆219连接固定,所述连杆219的下端安装有伸缩导柱220,所述伸缩导柱220的下端固定安装有伸缩液压缸221。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州康普雷森精密机械有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市相城区望亭镇迎湖村迎湖村路15号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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