镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223535192U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422847471.8,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构是由匡国庆设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构,包括形变支撑板,所述形变支撑板正面安装有多组磁条,背面间隔安装有多组在线调节组件;在任意一组所述在线调节组件的作用下,带动该区域的形变支撑板变形,从而单独调节该区域磁条与靶材之间的距离。本实用新型所公开的形变支撑板正面开设与多个在线调节组件的安装位交错布设的第一形变槽,背面两两一组开设在线调节组件的安装位两侧的第二形变槽,使得每个调节点位的形变支撑板均在在线调节组件的作用下能够更轻松的产生形变,满足旋转阴极磁棒精准调节的目的。
本实用新型一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构在权利要求书中公布了:1.一种旋转阴极磁棒形变支撑板结构,其特征在于,包括形变支撑板1,所述形变支撑板1正面安装有多组磁条2,背面间隔安装有多组在线调节组件3; 在任意一组所述在线调节组件3的作用下,带动对应区域的形变支撑板1变形,从而单独调节该区域磁条2与靶材之间的距离。
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