蓝思科技(长沙)有限公司赵卓获国家专利权
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龙图腾网获悉蓝思科技(长沙)有限公司申请的专利磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535193U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422885220.9，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机是由赵卓;杨鹏设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及磁控溅射加工领域，公开了一种磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机，磁控溅射阴极装置包括溅射挡板、靶材组件以及磁棒组件，靶材组件包括筒状靶材，筒状靶材的外周面与溅射挡板正对设置，靶材组件能够相对溅射挡板沿筒状靶材的周向转动，磁棒组件包括同轴设置在筒状靶材内的磁棒，磁棒组件能够相对筒状靶材沿磁棒的周向转动。本实用新型的磁控溅射阴极装置在作业的过程中可省略洗靶步骤，极大地提高镀膜的工作效率。
本实用新型磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射阴极装置，其特征在于，所述磁控溅射阴极装置包括： 溅射挡板1； 靶材组件，包括筒状靶材2，所述筒状靶材2与所述溅射挡板1正对设置； 磁棒组件，包括同轴设置在所述筒状靶材2内的磁棒3； 旋转驱动组件，驱动连接所述靶材组件和所述磁棒组件。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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