湖南红太阳光电科技有限公司肖洁获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种双面镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535195U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422886775.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种双面镀膜设备是由肖洁;周佑丞;张春成;柳懿峰;成秋云;吴得轶设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双面镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双面镀膜设备，包括依次连接设置的硅片转运机构、取放片升降机构、舟架转运机构、净化台、炉体柜和气源柜；所述硅片转运机构用于将硅片装载至花篮舟架中，所述取放片升降机构和舟架转运机构用于将装载硅片的花篮舟架移动至舟托中，所述花篮舟架和舟托均为镂空结构，相邻硅片之间存在间隙，所述净化台用于舟托上下料及冷却缓存，所述炉体柜中设有反应腔体，所述气源柜用于提供工艺气体，装载花篮舟架的舟托进入反应腔体中，以实现硅片双面镀膜。本实用新型具有结构紧凑、操作简便且有利于节约工艺时间、提高生产效率等特点，可以在硅片的正面和背面同时镀膜，并且可以在硅片的正面和背面镀不同厚度的膜。
本实用新型一种双面镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种双面镀膜设备，其特征在于，包括依次连接设置的硅片转运机构100、取放片升降机构200、舟架转运机构300、净化台500、炉体柜600和气源柜700；所述硅片转运机构100用于将硅片1装载至花篮舟架302中，所述取放片升降机构200和舟架转运机构300用于将装载硅片1的花篮舟架302移动至舟托400中，所述花篮舟架302和舟托400均为镂空结构，且相邻硅片1之间存在间隙，所述净化台500用于舟托400上下料及冷却缓存，所述炉体柜600中设有反应腔体，所述气源柜700用于提供工艺气体，装载花篮舟架302的舟托400进入反应腔体中，以实现硅片1双面镀膜。
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