广州粤升半导体设备有限公司曾庆森获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉广州粤升半导体设备有限公司申请的专利外延设备自动上料机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223535297U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422967658.1，技术领域涉及：C30B29/36；该实用新型外延设备自动上料机构是由曾庆森;林逸;陈蛟设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本外延设备自动上料机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种外延设备自动上料机构，其包括工艺腔、进样腔、机械手腔和片盒腔，所述工艺腔、进样腔和片盒腔分布在所述机械手腔的周边位置，所述机械手腔内设有能向工艺腔与进样腔传送托盘、向进样腔与片盒腔传送晶圆的双臂机械手。本实用新型结构设计合理，将工艺腔、进样腔和片盒腔分布在机械手腔的侧边位置，通过机械手腔内的双臂机械手可以向工艺腔与进样腔传送托盘和向进样腔与片盒腔传送晶圆，实现了晶圆从取出、工艺生长到存放的连续、无缝衔接，不仅提升工作效果，还减少了晶圆与外界环境的接触，降低了晶圆被污染的风险，提高了产品的洁净度和合格率，保证产品质量。
本实用新型外延设备自动上料机构在权利要求书中公布了：1.一种外延设备自动上料机构，其包括工艺腔和进样腔，其特征在于，其还包括机械手腔和片盒腔，所述工艺腔、进样腔和片盒腔分布在所述机械手腔的周边位置，所述机械手腔的腔壁上设有相应与所述工艺腔、进样腔、片盒腔相连通的工艺口、进样口、片盒口；所述机械手腔内设有能向工艺腔与进样腔传送托盘、向进样腔与片盒腔传送晶圆的双臂机械手。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广州粤升半导体设备有限公司，其通讯地址为：510000 广东省广州市黄埔区枝山路13号C栋601房(部位 : 十六)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励