星奇(上海)半导体有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司杨宗明获国家专利权
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龙图腾网获悉星奇(上海)半导体有限公司;北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利气动执行器可转动的流控装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223537069U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422993833.4,技术领域涉及:F16K31/12;该实用新型气动执行器可转动的流控装置是由杨宗明设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本气动执行器可转动的流控装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种气动执行器可转动的流控装置,应用于半导体技术领域,其中,推动杆升降滑动贯穿转接柱,以使推动杆的一端置于阀盖的主体部分中,气体执行器还包括配合形成腔室的上盖与下盖,下盖具有连通腔室的第一通气孔,上盖具有连通腔室的第二通气孔;转接柱贯穿下盖的底部,且下盖可转动连接转接柱;转接柱上设有卡块,且卡块抵接下盖内的底部,下盖外的底部抵接主体部分的顶部,以使下盖被限制在卡块与主体部分之间,以使气动执行器在流控装置安装后可以进行旋转,可以提高气动执行器的接口不固定方向的适应性,进而可以提高对狭小空间的适应性。
本实用新型气动执行器可转动的流控装置在权利要求书中公布了:1.一种气动执行器可转动的流控装置,其特征在于,包括气动执行器和流控部分,所述气动执行器包括推动杆,所述流控部分包括阀盖,所述推动杆升降滑动连接所述阀盖,所述气动执行器通过所述推动杆与所述阀盖升降滑动进行所述流控部分的流体控制; 所述阀盖包括主体部分和位于所述主体部分顶部的转接柱,所述推动杆升降滑动贯穿所述转接柱,以使所述推动杆的一端置于所述主体部分中,所述气动执行器还包括配合形成腔室的上盖与下盖,所述下盖具有连通腔室的第一通气孔,所述上盖具有连通腔室的第二通气孔;所述转接柱贯穿所述下盖的底部,且所述下盖可转动连接所述转接柱;所述转接柱上设有卡块,且所述卡块抵接所述下盖内的底部,所述下盖外的底部抵接所述主体部分的顶部,以使所述下盖被限制在所述卡块与所述主体部分之间。
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