西安镜屏半导体科技有限公司苏剑锐获国家专利权
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龙图腾网获悉西安镜屏半导体科技有限公司申请的专利一种用于半导体特殊气体的输送管道获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223537211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520097379.6,技术领域涉及:F16L55/02;该实用新型一种用于半导体特殊气体的输送管道是由苏剑锐设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体特殊气体的输送管道在说明书摘要公布了:本实用新型适用于输送管道技术领域,提供了一种用于半导体特殊气体的输送管道,包括:第一管道,所述第一管道的一侧焊接有第二管道,所述第一管道和所述第二管道内部连通;所述第一管道和所述第二管道焊接处设置有监测组件,所述监测组件两侧分别设置有密封组件,所述第一管道和所述第二管道上均设置有缓冲组件,通过设置缓冲组件,将外筒和管道固定架进行连接,在第一管道和第二管道进行输送时,产生振动和弧形弹性橡胶垫进行接触,阻尼器以及缓冲弹簧,对振动力进行缓冲减震,减少振动带来的冲击,通过设置监测组件,便于对第一管道以及第二管道焊接点出进行监测是否漏气,通过设置密封组件,便于密封,使漏气时可以有时间关闭输送。
本实用新型一种用于半导体特殊气体的输送管道在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体特殊气体的输送管道,其特征在于,包括:第一管道1,所述第一管道1的一侧焊接有第二管道2,所述第一管道1和所述第二管道2内部连通; 所述第一管道1和所述第二管道2焊接处设置有监测组件3,所述监测组件3两侧分别设置有密封组件4,所述第一管道1和所述第二管道2上均设置有缓冲组件5; 两个所述缓冲组件5分别包括有外筒15,两个所述外筒15的中间均开设有通孔16,所述第一管道1和所述第二管道2分别穿过两个所述通孔16。
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