江苏天芯微半导体设备有限公司李进获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天芯微半导体设备有限公司申请的专利一种用于刻蚀设备的加热组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539555U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422944472.4，技术领域涉及：H01J37/02；该实用新型一种用于刻蚀设备的加热组件是由李进;葛绍理设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于刻蚀设备的加热组件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于刻蚀设备的加热组件，包括：圆形主体；圆形主体包括：上绝缘层；所述加热层设置于上绝缘层下方；屏蔽层设置于所述加热层下方；下柔性导热绝缘层设置于屏蔽层下方；圆形主体上设置多个沿圆形主体的周向排布的多个扇形贯穿孔；所述屏蔽层的直径大于加热层，以在所述圆形主体的周向边缘形成露出部。本实用新型通过设置扇形贯穿孔，便于支撑块支撑加热组件，防止加热组件被过力挤压，同时设置露出部，方便可靠地接地。
本实用新型一种用于刻蚀设备的加热组件在权利要求书中公布了：1.一种用于刻蚀设备的加热组件，其特征在于，包括：圆形主体； 所述圆形主体包括： 上绝缘层； 加热层，所述加热层设置于上绝缘层下方； 屏蔽层，所述屏蔽层设置于所述加热层下方； 下柔性导热绝缘层，所述下柔性导热绝缘层设置于屏蔽层下方； 其中，所述圆形主体上设置多个沿所述圆形主体的周向排布的多个扇形贯穿孔；所述屏蔽层的直径大于加热层，以在所述圆形主体的周向边缘形成露出部。
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