中微半导体设备(上海)股份有限公司尹志尧获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223539556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422182344.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置是由尹志尧;叶如彬设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置，包括一个线圈，具有一个接收射频功率的输入端以及一个接地的输出端；一个非接触耦合器，具有连接到线圈输入端的接收连接器和一个与射频功率源耦合的传输连接器，所述接收连接器和所述传输连接器非接触耦合以使得二者之间直流断开，同时允许射频功率传输，所述接收连接器相对于所述传输连接器可旋转；一个接地耦合器，连接在线圈的输出端和地电位之间。本实用新型可以确保线圈在旋转过程中维持稳定的射频能量输入至等离子体处理腔内。
本实用新型一种等离子体腔及向其施加射频能量的装置在权利要求书中公布了：1.一种向等离子体腔施加射频能量的装置，其特征在于：包括： 一个线圈，具有一个接收射频功率的输入端以及一个接地的输出端； 一个非接触耦合器，具有连接到线圈输入端的接收连接器和一个与射频功率源耦合的传输连接器，所述接收连接器和所述传输连接器非接触耦合以使得二者之间直流断开，同时允许射频功率传输，所述接收连接器相对于所述传输连接器可旋转； 一个接地耦合器，连接在线圈的输出端和地电位之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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